[发明专利]紫外线照射方法及使用了该方法的装置

权利要求书

1.一种紫外线照射方法，对粘贴在半导体晶圆的表面上的 紫外线固化型保护带进行剥离处理之前，对保护带照射紫外线 来降低其粘合力，上述方法包括如下过程：

对上述保护带粘贴面和半导体晶圆的周缘部照射紫外线， 使向该周缘部照射的紫外线的照射强度高于向保护带粘贴面照 射的紫外线的照射强度。

2.根据权利要求1所述的紫外线照射方法，

从上述半导体晶圆的侧方向晶圆边缘局部照射紫外线，并 且使紫外线和半导体晶圆在晶圆周向相对移动。

3.根据权利要求2所述的紫外线照射方法，

使半导体晶圆的保护带粘贴面的每单位面积的紫外线照射 量与晶圆边缘的每单位面积的紫外线照射量相同。

4.根据权利要求1所述的紫外线照射方法，

同时向半导体晶圆的保护带粘贴面和晶圆边缘进行紫外线 照射。

5.根据权利要求1所述的紫外线照射方法，

将半导体晶圆载置到对准台的保持台上，在进行位置对准 的旋转动作中对晶圆边缘照射紫外线。

6.一种紫外线照射装置，对粘贴在半导体晶圆的表面上的 紫外线固化型保护带进行剥离处理之前，对保护带照射紫外线 来降低其粘合力，上述装置包括如下结构要素：

保持部件，其载置保持粘贴有保护带的半导体晶圆；

主紫外线照射部件，其从载置保持的半导体晶圆的上方对 保护带表面照射紫外线；及

辅助紫外线照射部件，其对保护带周缘部照射的紫外线的 强度高于照射到保护带表面上的紫外线的强度。

7.根据权利要求6所述的紫外线照射装置，

上述辅助紫外线照射部件由从上述半导体晶圆的侧方向晶 圆边缘局部照射紫外线的照射器构成，

上述紫外线照射装置具有扫描部件，该扫描部件使照射器 和半导体晶圆在晶圆周向相对移动。

8.根据权利要求7所述的紫外线照射装置，

上述主紫外线照射部件具有开口直径大于半导体晶圆直径 的遮光罩，

上述遮光罩的下端具有辅助紫外线照射部件，

具有控制装置，该控制装置在半导体晶圆上方的退避位置 和遮光罩的下端位于半导体晶圆的表面高度的作用位置之间使 主紫外线照射部件和遮光罩升降，并且在作用位置从辅助紫外 线照射部件对晶圆边缘照射紫外线。

9.根据权利要求8所述的紫外线照射装置，

上述控制装置构成为同时进行由主紫外线照射部件向保护 带表面照射紫外线和由辅助紫外线照射部件向晶圆边缘照射紫 外线。

10.根据权利要求7所述的紫外线照射装置，

上述主紫外线照射部件具有开口直径大于半导体晶圆直径 的遮光罩，

具有：

箱型遮断壁，其收纳上述主紫外线照射部件和遮光罩，在 下端具有辅助紫外线照射部件，在下端具有可在半导体晶圆上 方的退避位置和对晶圆边缘照射紫外线的作用位置之间进行升 降的筒型可动遮断壁，

控制装置，其使主紫外线照射部件、遮光罩及可动遮断壁 在退避位置和作用位置之间升降，并且在作用位置从辅助紫外 线照射部件对晶圆边缘照射紫外线。

11.根据权利要求10所述的紫外线照射装置，

上述控制装置构成为同时进行由主紫外线照射部件向保护 带表面照射紫外线和由辅助紫外线照射部件向晶圆边缘照射紫 外线。

12.根据权利要求6所述的紫外线照射装置，

上述辅助紫外线照射部件是利用光纤对照射器和紫外线发 生装置进行连接而构成的。

13.根据权利要求6所述的紫外线照射装置，

上述辅助紫外线照射部件由紫外线发光二极管构成。