[发明专利]电路结构及其形成方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种电路结构及其形成方法，特别是涉及一种关于形成非晶硅层及电极的方法以及所产生的结构。

背景技术

空间光调节器(Spatial Light Modulator)已经广泛地应用到商用产品，如影像显示器、电视等等。一般来说，空间光调节器包含一晶胞阵列(Array Of Cell)，每一晶胞阵列包含一微型透镜与电路系统，其中微型透镜对应一轴倾斜，且电路系统产生静电力以使微型透镜产生倾斜。此外，空间光调节单元一般包含了维持与允许微型透镜倾斜的结构。在晶胞之间，更有空隙可容纳这样的结构。每个晶胞的空间光调节器通常更包含数个制动装置，用以机械地使晶胞的微型透镜分别停止在“开”的位置及“关”的位置。

例如在一执行态样中，在用以显示影像的数字化模式操作方法中，微型透镜可在二个位置倾斜。在“开启”的位置或状态时，微型透镜引导入射光传送到一显示器的指定像素。在“关闭”的位置或状态时，微型透镜导引入射光远离指定像素。上述“开启”的位置可例如是与水平位置夹角20°，而“关闭”的位置可例如是与水平位置夹角15°的位置。

如上所述空间光调节器的执行样态的操作方法一般是藉由倾斜一选定的微型透镜组合，来选择性地投射光在显示器上显示影像。图1示出形成于基板2上的空间光调节器。此空间光调节器包含了金属接线柱6以及位于金属接线柱6上的微型透镜8。当电压施加在金属电极4上时，可使微型透镜8倾斜(如图中虚线所示)。因此光可受到微型透镜8的反射而导入或偏离显示装置(未绘示)。

如图1所示的现有习知空间光调节器具有如下缺点：

第一，根据集成电路的制造工艺标准，金属接线柱6的高度H通常较高，而使得金属接线柱6的沉积及图案化变得相对地困难。第二，由于金属接线柱6与金属电极4具有不同高度的要求，需要各种微影制造工艺来精确控制金属接线柱6及金属电极4的高度，于是又造成制作成本的增加。因此需要数种新方法来形成金属接线柱6。

由此可见，上述现有的空间光调节器在结构与使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决上述存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般产品又没有适切结构能够解决上述问题，此显然是相关业者急欲解决的问题。因此如何能创设一种新型的电路结构，实属当前重要研发课题之一，亦成为当前业界极需改进的目标。

有鉴于上述现有的空间光调节器存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新型的电路结构，能够改进一般现有的空间光调节器，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经过反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本发明。

发明内容

本发明的主要目的在于，克服现有的空间光调节器存在的缺陷，而提供一种新型的电路结构，所要解决的技术问题是使其改善非晶硅接线柱的品质以及降低形成多个具有不同高度的非晶硅接线柱的复杂性，非常适于实用。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种电路结构，其包含：一基板；一第一非晶硅层，位于该基板上；一第一粘着层，位于该第一非晶硅层上且邻接于该第一非晶硅层；以及一第二非晶硅层，位于该第一粘着层上且邻接于该第一粘着层。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的电路结构，其更包含：一传导部件，位于该第一非晶硅层下且电性连接于该第一非晶硅层；以及一集成电路，位于该基板中且电性连接至该传导部件。

前述的电路结构，其中所述的第一非晶硅层与该第二非晶硅层的厚度小于6.5千埃。

前述的电路结构，其更包含多个非晶硅接线柱彼此间相邻且分离，其中该多个非晶硅接线柱的其中之一包含该第一非晶硅层、该第二非晶硅层与该第一粘着层。

前述的电路结构，其中所述的多个非晶硅接线柱藉由多个空气隔离而彼此分离，且其中该电路结构更包含一部件位于该多个空气隔离的至少多个部分的正上方。

前述的电路结构，其更包含一传导膜，位于该多个非晶硅接线柱上且邻接于该多个非晶硅接线柱，其中该传导膜由一附加空气隔离而与该多个非晶硅接线柱的至少之一分离。