[发明专利]喷墨打印头及其制造方法

权利要求书

1.一种喷墨打印头，包括：

衬底；

设置在所述衬底上的流动通道层；以及

粘合层，设置在所述衬底和所述流动通道层之间，所述粘合层由具有感光特性的硅改性树脂制成。

2.如权利要求1所述的喷墨打印头，其中所述硅改性树脂包括：

硅改性聚酰亚胺树脂。

3.如权利要求1所述的喷墨打印头，其中所述粘合层通过光刻工艺形成。

4.一种制造喷墨打印头的方法，所述方法包括：

制备设置有喷射压力产生单元以喷射墨水的衬底；

在所述衬底上形成由具有感光特性的硅改性聚酰亚胺树脂制成的粘合层；以及

在所述粘合层上形成流动通道层以限定墨水通道。

5.如权利要求4所述的方法，其中所述粘合层的形成包括：

在所述衬底上涂布硅改性聚酰亚胺树脂溶液；

通过从涂布的硅改性聚酰亚胺树脂溶液中蒸发掉溶剂来形成硅改性聚酰亚胺树脂层；和

图案化所述硅改性聚酰亚胺树脂层。

6.如权利要求5所述的方法，其中所述硅改性聚酰亚胺树脂层的所述图案化是通过光刻工艺进行。

7.一种制造喷墨打印头的方法，所述方法包括：

制备设置有热量产生层以加热墨水的衬底；

通过光刻工艺，使用具有感光特性的硅改性树脂在所述衬底上形成粘合层；以及

通过光刻工艺在所述粘合层上形成流动通道层以限定墨水通道。

8.如权利要求7所述的方法，其中所述硅改性树脂包括：

硅改性聚酰亚胺树脂。

9.一种喷墨打印头，包括：

钝化层；

流动通道层；以及

粘合层，其设置在所述钝化层和所述流动通道层之间并与它们接触，所述粘合层由具有感光特性的硅改性聚酰亚胺树脂制成。

10.一种制造喷墨打印头的方法，所述方法包括：

形成钝化层和流动通道层；以及

形成设置在所述钝化层和所述流动通道层之间并与它们接触的具有感光特性的硅改性树脂层。

11.如权利要求10所述的方法，其中所述硅改性树脂层的形成包括：

至少在所述钝化层上涂布硅改性聚酰亚胺树脂溶液；

通过从涂布的硅改性聚酰亚胺树脂溶液中蒸发掉溶剂形成硅改性聚酰亚胺树脂层；以及

图案化所述硅改性聚酰亚胺树脂层。