[发明专利]喷墨打印头及其制造方法

说明书

技术领域

本发明总的发明构思涉及一种喷墨打印头及其制造方法，更具体地涉及一种具有提供在衬底和设置在该衬底上的流动通道层(flow channel layer)之间的粘合层的喷墨打印头及其制造方法。

背景技术

喷墨打印头是一种通过在记录纸张上的所需位置上喷射墨滴而形成图像的装置。喷墨打印头通常包括：衬底，在其表面上设置有用于墨水喷射的喷射压力产生元件；以及流动通道层，其设置在衬底上并形成墨水通道。钝化层可以设置在衬底上以保护喷射压力产生元件。此钝化层典型地由包含有机硅(silicone)的无机物制成。

流动通道层和衬底(或钝化层)之间的接触面是具有不同特性的材料接触的分界面。接触面具有差的耐久性。因此，粘合层设置在衬底和流动通道层之间以增大结合力，示例在日本专利申请公开No.11-348290中提供。

以上识别的喷墨打印头涉及通过其间的由聚醚酰胺(polyether amide)树脂制成的粘合层结合到衬底上的液体通道形成构件。由聚醚酰胺树脂制成的粘合层通过以下工艺形成。聚醚酰胺树脂通过旋涂法涂布在衬底上，用作蚀刻掩模的光致抗蚀剂图案在聚醚酰胺层上形成。接着，粘合层通过由O₂等离子体灰化使聚醚酰胺层图案化而形成，用作掩模的光致抗蚀剂图案被去除。

然而，上述的喷墨打印头具有由于如此复杂的制造工艺引起的低生产率的问题，该复杂的制造工艺包括光刻工艺(用于通过图案化聚醚酰胺层形成粘合层)、蚀刻工艺和光致抗蚀剂去除工艺。此外，由于进行这些工艺需要大量的设备，投资和维护费用增加并导致大的经济负担。

发明内容

本发明总的发明构思提供一种喷墨打印头及其制造方法，该制造方法被改进从而简化了粘合层形成工艺。

本发明总的发明构思的附加的方面和/或应用将在下面的描述中部分地阐明并部分地从描述中变得明显，或可以通过本发明总的发明构思的实践而习知。

本发明总的发明构思的前述和/或其它方面和应用可以通过提供一种喷墨打印头而实现，该喷墨打印头包括：衬底；设置在衬底上的流动通道层；以及粘合层，设置在衬底和流动通道层之间，粘合层由具有感光特性的硅改性树脂制成。

硅改性树脂包括：硅改性聚酰亚胺树脂(silicone modified polyimide resin)。

粘合层通过光刻工艺形成。

本发明总的发明构思的前述和/或其它方面和应用也可以通过提供一种制造喷墨打印头的方法而实现，该方法包括：制备设置有喷射压力产生元件以喷射墨水的衬底；在衬底上形成由硅改性聚酰亚胺树脂制成的粘合层；以及在粘合层上形成流动通道层以限定墨水通道。

粘合层的形成可以包括：在衬底上涂布硅改性聚酰亚胺树脂溶液；通过从涂布的硅改性聚酰亚胺树脂溶液中蒸发掉溶剂来形成硅改性聚酰亚胺树脂层；以及图案化硅改性聚酰亚胺树脂层。

硅改性聚酰亚胺树脂层的图案化可以通过光刻工艺进行。

本发明总的发明构思的前述和/或其它方面和应用也可以通过提供一种制造喷墨打印头的方法来实现，该方法包括：制备设置有热量产生层以加热墨水的衬底；通过光刻工艺，使用具有感光特性的硅改性树脂在衬底上形成粘合层；以及通过光刻工艺在粘合层上形成流动通道层以限定墨水通道。

硅改性树脂可以包括：硅改性聚酰亚胺树脂。

本发明总的发明构思的前述和/或其它方面和效用也可以通过提供一种喷墨打印头来实现，该喷墨打印头包括：钝化层；流动通道层；以及粘合层，其设置在钝化层和流动通道层之间并与它们接触，粘合层由硅改性聚酰亚胺树脂制成。

本发明总的发明构思的前述和/或其它方面和应用也可以通过提供一种制造喷墨打印头的方法来实现，该方法包括：形成钝化层和流动通道层；以及形成设置在钝化层和流动通道层之间并与它们接触的硅改性树脂层。

硅改性树脂层的形成可以包括：至少在钝化层上涂布硅改性聚酰亚胺树脂溶液；通过从涂布的硅改性聚酰亚胺树脂溶液中蒸发溶剂形成硅改性聚酰亚胺树脂层；以及图案化硅改性聚酰亚胺树脂层。

附图说明

从下面实施例的描述并结合附图，本发明总的发明构思的实施例的这些和/或其它方面和应用将变得明显和更容易理解，附图中：

图1是示出根据本发明总的发明构思的实施例的喷墨打印头的截面图；

图2到11是示出根据本发明总的发明构思的实施例的制造喷墨打印头的方法的视图；

图12是示出根据本发明总的发明构思的实施例的喷墨打印头的制造方法的流程图。

具体实施方式