[发明专利]探针与芯片插座的清洁方法

权利要求书

1.一种探针与芯片插座的清洁方法，其特征在于其包括以下步骤：

将探针自芯片插座中取下；

在大气压力下，以液态二氧化碳喷洒探针或芯片插座的表面，包含喷洒液态二氧化碳于该晶片插座的多数个孔的内壁表面，该喷洒液态二氧化碳步骤持续进行，直到探针表面、芯片插座表面的污染源充分被液态二氧化碳包覆或润湿为止；

将探针或芯片插座置于一真空环境中使液态二氧化碳固化成固态二氧化碳；以及

将探针或芯片插座置入一温度控制环境中使固态二氧化碳汽化成气态二氧化碳，同时吸走包覆污染源的气态二氧化碳。

2.根据权利要求1所述的探针与芯片插座的清洁方法，其特征在于其中所述的探针为高频测试所使用的探针。

3.根据权利要求1所述的探针与芯片插座的清洁方法，其特征在于其中所述的真空环境以一腔体外接一真空泵达成。

4.根据权利要求3所述的探针与芯片插座的清洁方法，其特征在于其中所述的腔体的真空度控制在粗略真空等级，即759～1torr或中度真空等级，即1～10-3torr。

5.根据权利要求1所述的探针与芯片插座的清洁方法，其特征在于其中所述的温度控制环境是一热盘具有控制温度设备。

6.根据权利要求1所述的探针与芯片插座的清洁方法，其特征在于其中所述的温度控制环境是一烘箱具有控制温度设备。

7.根据权利要求1所述的探针与芯片插座的清洁方法，其特征在于其中所述的温度控制环境控制一温度于32℃以上。

8.根据权利要求1所述的探针与芯片插座的清洁方法，其特征在于其中所述的同时吸走包覆污染源的气态二氧化碳是以一抽气装置的抽气口置于探针或芯片插座上一定的距离的方式执行。

9.根据权利要求8所述的探针与芯片插座的清洁方法，其特征在于其中所述的抽气装置包含抽风机。