[发明专利]磁力驱动构件、基板传送单元及基板处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及对基板进行处理的装置，特别涉及利用磁耦合提供驱动力的磁力驱动构件、利用磁力驱动构件传送在制造晶片或平板显示元件中使用的基板的基板传送单元以及具有基板传送单元的基板处理装置。

背景技术

最近，信息处理设备正在向功能多样化和信息处理速度高速化快速发展。这种信息处理装置具有显示运转信息的显示面板。以往在显示面板中主要使用阴极射线管显示器，但最近随着技术的快速发展，使用轻而且占用空间小的液晶显示(LCD)的平板显示面板急剧增加。

为了制造平板显示装置，要进行蒸镀、氧化、扩散、蚀刻、清洗等多种工序，平板显示装置中使用的基板由传送单元在进行各工序的处理单元之间或处理单元内进行传送。

传送单元具有：并排配置并转动的轴；以及设置成插入各轴并与轴一起转动的辊。轴一般以两端被支撑的状态进行转动，来传递驱动构件的转动力，设置在轴上的辊与轴一起转动，同时传送基板。

以往，为了把驱动构件的转动力传递到轴上，主要采用齿轮这种利用机械接触方式的动力传递机构，但机械接触方式存在的问题是，在动力传递过程中，因齿轮的磨损等会产生很多微粒。因此，最近主要采用利用磁力的动力传递机构，即，不进行直接接触，就把驱动构件的转动力传递到轴上。

发明内容

本发明的目的是提供一种可以简化动力传递机构的结构、降低费用、而且提高空间的灵活使用程度的磁力驱动构件，以及利用该磁力驱动构件的基板传送单元和具有该基板传送单元的基板处理装置。

本发明另一个目的是提供一种可以稳定传送基板的磁力驱动构件，以及利用该磁力驱动构件的基板传送单元和具有该基板传送单元的基板处理装置。

本发明的目的不限于此，对于没有提及的其他目的，本领域技术人员从以下的说明中应该可以充分理解。

为了实现所述目的，本发明提供一种传送基板的基板传送单元，其特征在于包括：轴，相互并排配置，用于传送基板；第一磁力构件，设置在所述轴的一端上；第二磁力构件，与所述第一磁力构件相对设置，并进行磁耦合，而且沿其圆周面形成多个突出部；动力传递构件，通过与在所述第二磁力构件中相邻的任意两个所述第二磁力构件上形成的所述突出部的啮合，在所述第二磁力构件之间传递转动力；以及驱动构件，向任意一个所述第二磁力构件提供转动力。

在具有上述结构的本发明的基板传送单元中，所述突出部为链轮的齿形，所述动力传递构件为与所述突出部即链轮的齿形啮合的链条。

所述突出部沿圆周方向形成凹凸形，所述动力传递构件为与凹凸形的所述突出部啮合的带。

所述突出部为直齿圆柱齿轮形状，所述动力传递构件为与所述直齿圆柱齿轮形状的所述突出部啮合的齿轮。

所述第一磁力构件和第二磁力构件分别具有：外壳；以及多块磁铁，配置在所述外壳内；其中，所述第一磁力构件的所述磁铁和所述第二磁力构件的所述磁铁相对配置并具有不同的极性。

所述第一磁力构件和第二磁力构件分别具有：外壳；多块板状磁铁，在所述外壳内配置成环形；其中，所述第一磁力构件的所述磁铁配置成相邻的磁铁之间具有不同的极性，所述第二磁力构件的所述磁铁配置成相邻的磁铁之间具有不同的极性，所述第一磁力构件和第二磁力构件相对配置的所述磁铁具有不同的极性。

为了实现所述目的，本发明还提供一种基板处理装置，其特征在于包括：工序室，进行基板处理工序；轴，并排配置在所述工序室内，设置有与基板接触的多个辊，用于传送基板；第一磁力构件，为圆板形，设置在所述轴的一端上；第二磁力构件，为圆板形，在所述工序室的外侧与所述第一磁力构件相对设置；动力传递构件，在所述第二磁力构件之间传递转动力；以及驱动构件，向任意一个所述第二磁力构件提供转动力；其中，在所述第二磁力构件的圆周面上，沿圆周方向具有多个突出部，所述动力传递构件通过与在相邻的任意两个所述第二磁力构件上形成的所述突出部的啮合，来传递转动力。

在具有上述结构的本发明的基板处理装置中，所述突出部为链轮的齿形，所述动力传递构件为与所述突出部即链轮的齿形啮合的链条。

所述突出部沿圆周方向形成凹凸形，所述动力传递构件为与凹凸形的所述突出部啮合的带。

所述突出部为直齿圆柱齿轮形状，所述动力传递构件为与所述直齿圆柱齿轮形状的所述突出部啮合的齿轮。