[发明专利]金属图案形成用转印膜及金属图案形成方法

权利要求书

1、一种金属图案形成用转印膜，其特征在于，在支持膜上按(A)抗蚀剂层、(B)厚为1～20μm的金属层以及(C)玻璃浆料层的顺序层叠而成，其中，

所述(C)玻璃浆料层用(C’)玻璃浆料形成，该(C’)玻璃浆料含有(a)玻璃粉末和(b)粘结树脂，该粘结树脂来自具有亲水性基团的单体的构成成分为5质量％以下。

2、一种金属图案形成用转印膜，其特征在于，在支持膜上按(B)厚为1～20μm的金属层以及(C)玻璃浆料层的顺序层叠而成，其中，

所述(C)玻璃浆料层用(C’)玻璃浆料形成，该(C’)玻璃浆料含有(a)玻璃粉末和(b)粘结树脂，该粘结树脂来自具有亲水性基团的单体的构成成分为5质量％以下。

3、根据权利要求1或2所述的金属图案形成用转印膜，其特征在于，所述(b)粘结树脂是由(甲基)丙烯酸烷基酯形成的树脂。

4、根据权利要求1～3中任一项所述的金属图案形成用转印膜，其特征在于，所述(C’)玻璃浆料还含有(c)溶剂。

5、根据权利要求1～4中任一项所述的金属图案形成用转印膜，其特征在于，所述(B)金属层由选自Ag、Au、Al和Cu中的至少一种形成。

6、根据权利要求1～5中任一项所述的金属图案形成用转印膜，其特征在于，所述(B)金属层由金属箔形成。

7、根据权利要求1～5中任一项所述的金属图案形成用转印膜，其特征在于，所述(B)金属层通过真空制膜法形成。

8、根据权利要求1～7中任一项所述的金属图案形成用转印膜，其特征在于，所述金属图案是平板显示器部件。

9、一种金属图案形成方法，其特征在于，包括如下工序：

层叠工序，在玻璃基板上形成按(C)玻璃浆料层、(B)厚为1～20μm的金属层以及(A)抗蚀剂层的顺序层叠而成的层叠体，其中，所述(C)玻璃浆料层用(C’)玻璃浆料形成，该(C’)玻璃浆料含有(a)玻璃粉末和(b)粘结树脂，该粘结树脂来自具有亲水性基团的单体的构成成分为5质量％以下；

曝光潜影形成工序，对所述层叠体进行曝光处理，在所述(A)抗蚀剂层上形成抗蚀剂图案的潜影；

显影工序，对经过所述曝光潜影形成工序的所述层叠体进行显影处理，在所述(A)抗蚀剂层上显露出抗蚀剂图案；

蚀刻工序，对经过所述显影工序的所述层叠体进行蚀刻处理，形成对应于抗蚀剂图案的金属层的图案；

煅烧工序，煅烧经过所述蚀刻工序的所述层叠体。

10、根据权利要求9所述的金属图案形成方法，其中，将所述层叠体浸渍在蚀刻液中来进行所述蚀刻工序。

11、根据权利要求9所述的金属图案形成方法，其中，将所述层叠体浸渍在蚀刻液中来进行所述显影工序和蚀刻工序。

12、根据权利要求9～11中任一项所述的金属图案形成方法，其中，包括：在所述曝光潜影形成工序之后所述显影工序之前、或者在所述显影工序之后所述蚀刻工序之前，加热所述层叠体，使所述抗蚀剂层固化的加热固化工序。

13、根据权利要求9～11中任一项所述的金属图案形成方法，其中，包括：在所述显影工序之后所述蚀刻工序之前，将所述层叠体曝光，使所述抗蚀剂层固化的曝光固化工序。

14、根据权利要求9～13中任一项所述的金属图案形成方法，其中，所述金属图案是平板显示器部件。