[发明专利]连续电镀处理装置

权利要求书

1.一种连续电镀处理装置，对电镀槽中搬运过程中的各个工件连 续供电，同时可以连续进行电镀处理，其特征在于，

在全部浸渍状态下可以同时在上述电镀槽中搬运的工件数目为N 的情况下，在上述电镀槽外设置数目为N+1个沿着工件搬运方向延伸 的阴极中继部件，并设置N+1个电源单元，同时在上述电镀槽内相对 向设置沿着工件搬运方向延伸且各个工件共通的阳极电极；

各个电源单元的各个阳极端子与阳极电极相连，而且各个阴极端 子与分别相应的阴极中继部件相连，形成为从各个电源单元可以经由 相应的阴极中继部件向上述电镀槽内搬运过程中的各个工件供电；

控制连续电镀动作的计算机系统，包含根据上述工件搬运方向的 上述工件的长度L和上述工件的设定搬运速度V计算上述工件的部分 浸渍时间L/V的期间长度计算装置，

形成为在各个工件在上述电镀槽内以全部浸渍状态搬运期间可通 过设定电流值Is以定电流控制各个电源单元，同时形成为在至少工件 的电镀处理对象面的所述工件搬运方向的一部分浸渍于所述电镀槽的 电镀液中的部分浸渍状态下搬入的上述部分浸渍时间内可以进行将电 流值从0渐增至所述设定电流值Is的电流渐增控制，而且在上述部分 浸渍状态下搬出的上述部分浸渍时间内可以进行将电流值从所述设定 电流值Is渐减至0的电流渐减控制；以及

将从所述各电源单元供给所述工件的所述工件的单位面积的电流 值Isa实质上控制为一定。

2.一种连续电镀处理装置，对电镀槽中搬运过程中的各个工件连 续供电，同时可以连续进行电镀处理，其特征在于，

在全部浸渍状态下可以同时在上述电镀槽中搬运的工件数目为N 的情况下，在上述电镀槽外设置数目为N+1个沿着工件搬运方向延伸 的阴极中继部件，并分别设置N+1个第一侧的电源单元和第二侧的电 源单元，同时在上述电镀槽内相对向设置沿着工件搬运方向延伸且各 个工件共通的第一侧的阳极电极和第二侧的阳极电极；

第一侧的电源单元的各个阳极端子与第一侧的阳极电极相连，第 二侧的电源单元的各个阳极端子与第二侧的阳极电极相连，同时第一 侧的电源单元的各个阴极端子和第二侧的电源单元的各个阴极端子分 别与相应的阴极中继部件相连，形成为第一侧的电源单元和第二侧的 电源单元可以经由相应的阴极中继部件向上述电镀槽内搬运过程中的 各个工件供电；

控制连续电镀动作的计算机系统，包含根据上述工件搬运方向的 上述工件的长度L和上述工件的设定搬运速度V计算上述工件的部分 浸渍时间L/V的期间长度计算装置，

形成为在各个工件在上述电镀槽内以全部浸渍状态搬运期间可通 过设定电流值Is以定电流控制第一侧和第二侧的各个电源单元，同时 形成为在至少工件的电镀处理对象面的所述工件搬运方向的一部分浸 渍于所述电镀槽的电镀液中的部分浸渍状态下搬入的上述部分浸渍时 间内可以进行将电流值从0渐增至所述设定电流值Is的电流渐增控制， 而且在上述部分浸渍状态下搬出的上述部分浸渍时间内可以进行将电 流值从所述设定电流值Is渐减至0的电流渐减控制；以及

将从所述各电源单元供给所述工件的所述工件的单位面积的电流 值Isa实质上控制为一定。

3.根据权利要求1或2所述的连续电镀处理装置，其特征在于，

形成为如下形式：在沿上述工件搬运方向延伸的搬运轨道安装多 个可以搬运工件的工件搬运体；

设计有臂部件，所述臂部件基端部安装于工件搬运体，而且前端 与对应的上述阴极中继部件可以相对移动地配合；

同时形成为能够直接或者间接向各个臂部件供电的结构；

可以从所述各个电源单元经过所述各个阴极中继部件和所述各个 臂部件向电镀槽内搬运过程中的各个工件供电。

4.根据权利要求1或2所述的连续电镀处理装置，其特征在于， 进一步具有：

识别上述工件的传感器；

存储每一种类的上述工件的上述工件的长度L的存储器，

上述期间长度计算装置，从上述存储器读取上述传感器所识别的 上述工件的长度L，计算上述工件的部分浸渍时间L/V。