[发明专利]连续电镀处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及连续电镀处理装置，可以在电镀槽内搬运工件过程中连续为各个工件供电同时连续进行电镀处理。 

背景技术

图9中，工件50(50A～50E)是单片物体即薄板形状物体(例如印刷电路衬底用材料)，在电镀槽10P内以一定间隔沿着工件搬运方向(方向X)连续搬运。所述工件连续搬运装置由如下部分构成：搬运轨道(图中省略)，设置在工件搬运路径上方，而且沿着X方向设置；沿着所述搬运轨道安装的可以移动的多个滑块(图中省略，但是作为电路工作的部分赋予符号36P(36PA～36PE)、与各个滑块同步搬运的传送带(图中省略)等。 

阳极电极15PL、15PR由各个工件(阴极电极)50A～50E共通，将工件搬运路径夹持在中央从而在左右两侧相对向设置(图中是上下两侧)，并且沿着X方向延伸。而且，各个阳极电极15PL、15PR经由供电电缆17P(17PL、17PR)连接到电源装置20P的阳极端子21。所述电源装置20P的阴极端子25经由供电电缆37P、搬运轨道和滑块(电路36PA～36PE)与各个工件50A～50E电连接(参见日本特开2000-226697号公报)。 

电源装置20P具有可以分别向各个工件50的两侧面Fr、F1提供设定电流值(例如1A/dm²)的容量，通过定电流控制来驱动。而且，能够向电镀槽10P内搬运中的各个工件50A～50E连续供电，同时连续进行电镀处理。 

发明内容

发明要解决的技术问题 

但是，虽然电源装置20P共通，但是由于电路[电缆17P(17PL、 17PR)、电路36P(36PA～36PE等)]结构或者组装的原因，每个工件的电阻或者电极间距离产生偏差。这些偏差导致镀层厚度或者处理质量不相同(偏差)。而且，即使是同一工件，一个面(第一侧面)和另一个侧面(第二侧面)的镀层厚度和处理质量也产生差异。也就是说，不能把每个工件的镀层厚度设定为不同。而且，不能设定同一工件的每个面镀层厚度。而且，在要求一层的镀层厚度和处理质量一致性高的情况下，也难以允许工件搬运方向的部分(前方部分、中央部分和后方部分)不同。 

本发明的目的是提供一种连续电镀处理装置，能够对每个工件变化设定电流进行电镀处理。而且，提供一种连续电镀处理装置，能够对同一工件的每个面变化设定电流进行电镀处理。 

根据本发明的连续电镀处理装置，对电镀槽中搬运过程中的各个工件连续供电，同时可以连续进行电镀处理；在全部浸渍状态下可以同时在上述电镀槽中搬运的工件数目为N的情况下，在上述电镀槽外设置数目为N+1个沿着工件搬运方向延伸的阴极中继部件，并且设置N+1个电源单元，同时在上述电镀槽内相对向设置沿着工件搬运方向延伸且各个工件共通的阳极电极，各个电源单元的各个阳极端子与阳极电极相连，且各个阴极端子分别与各个阴极中继部件相连，形成为各个电源单元可以经由各个阴极中继部件向上述电镀槽内搬运过程中的各个工件供电，形成为在各个工件在上述电镀槽内以全部浸渍状态搬运期间可以定电流控制各个电源单元，同时形成为在部分浸渍状态下搬入上述电镀槽期间可以进行电流渐增控制，而且在部分浸渍状态下搬出上述电镀槽期间可以进行电流渐减控制。 

而且，根据本发明的连续电镀处理装置，对电镀槽中搬运过程中的各个工件连续供电，同时可以连续进行电镀处理；在全部浸渍状态下可以同时在上述电镀槽中搬运的工件数目为N的情况下，在上述电镀槽外设置数目为N+1个沿着工件搬运方向延伸的阴极中继部件，并且分别设置N+1个第一侧电源单元和第二侧电源单元，同时在上述电镀槽内相对向设置沿着工件搬运方向延伸且各个工件共通的第一侧阳极电极和第二侧阳极电极，第一侧电源单元的各个阳极端子与第一侧阳极电极相连，且第二侧电源单元的各个阳极端子与第二侧阳极电极 相连，同时第一侧电源单元的各个阴极端子和第二侧电源单元的各个阴极端子分别与各个阴极中继部件相连，形成为第一侧电源单元和第二侧电源单元可以经由各个阴极中继部件向上述电镀槽内搬运过程中的各个工件供电，形成为在各个工件在上述电镀槽内以全部浸渍状态搬运期间可以定电流控制第一侧和第二侧的各个电源单元，同时形成为在部分浸渍状态下搬入上述电镀槽期间可以进行电流渐增控制，而且在部分浸渍状态下搬出上述电镀槽期间可以进行电流渐减控制。