[发明专利]微型显示器的制作方法

权利要求书

1.一种微型显示器的制作方法，包括：

提供基底，该基底具有像素区与周边电路区，其中该像素区已形成有金属反射层，且该周边电路区已形成有周边电路；

于该基底上形成介电层，以覆盖该像素区与该周边电路区；

于该介电层上形成图案化掩模层，该图案化掩模层暴露出位于该金属反射层上方的该介电层；

以该图案化掩模层为掩模，移除暴露出的该介电层的一部分；

移除该图案化掩模层；以及

移除部分该介电层，以暴露出该金属反射层。

2.如权利要求1所述的微型显示器的制作方法，其中该金属反射层的材料包括铝、金或银。

3.如权利要求1所述的微型显示器的制作方法，其中移除暴露出的该介电层的一部分的方法包括干式蚀刻法。

4.如权利要求1所述的微型显示器的制作方法，其中移除部分该介电层以暴露出该金属反射层的方法包括进行全面性蚀刻，直到暴露出该金属反射层。

5.如权利要求1所述的微型显示器的制作方法，其中该图案化掩模层的材料为光致抗蚀剂。