[发明专利]有机发光器件及其制造方法

权利要求书

1.一种制造有机发光器件的方法，包括：

在母基板上形成半导体层、栅极绝缘层和栅极电极；

形成与所述半导体层电连接的源极电极和漏极电极、以及负电压线的第一导电层；

在所述源极电极、所述漏极电极和所述第一导电层上形成暴露一部分漏极电极和一部分第一导电层的保护层；

形成与所述漏极电极电连接的第一电极；

在所述第一电极上形成暴露一部分第一电极的堤岸层；

在所述第一导电层上形成与所述第一导电层电连接的第二导电层；

在由所述堤岸层暴露的第一电极上形成虚拟层；

将母基板切割为多个子基板；

使用蚀刻工序移除所述虚拟层；

在所述第一电极上形成有机发光层；以及

在所述有机发光层和所述第二导电层上形成第二电极，

其中所述第二导电层和所述虚拟层具有不同的蚀刻速率，并且使用与所述第一电极相同的形成材料形成所述第二导电层。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述虚拟层包括金属材料。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述虚拟层包括导电材料。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述虚拟层包括无机材料。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述源极电极、所述漏极电极和所述第一导电层具有包括钼(Mo)、铝(Al)、钛(Ti)或其合金中的其中至少一种的单层结构或多层结构。