[发明专利]膜形成方法及电光装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种膜形成方法及电光装置。

背景技术

根据现有资料，已知有防止在基板涂敷溶液时其图案的外缘部的膜厚 比其他部分厚的技术。该技术使从喷嘴向基板的宽度方向的端部喷射涂敷 的溶液的量中向宽度方向的内方喷射涂敷的量多于端部的量(例如，参照 专利文献1)。

【专利文献1】日本特开2006-289239号公报。

但是，在上述现有技术中，如果削减图案外缘部的涂敷量，则外缘部 比中央部更容易干燥，当使图案干燥之际，图案外缘部的溶液浓度比图案 中央部的溶液浓度上升。有在图案内产生这种浓度的梯度时，为了补平该 梯度，而使溶液中的溶剂从中央部向外缘部移动的课题。因此，存在由于 削减图案外缘部的涂敷量，反而使外缘部的厚度比其他部分厚的问题。

即，如图8(a)所示，当在基材BM上涂敷材料液L并使其干燥时， 由于外缘LE侧比中央C侧更容易干燥，因此，材料液L的外缘LE侧的 溶质的浓度比中央C侧的浓度上升。并且，为补平该浓度的梯度，材料液 L中的溶剂如箭头S所示向外缘LE侧移动。由此，如图8(b)所示，膜 F的外缘部的厚度T1比其他部分的膜厚t厚。例如，当将膜F的膜厚t设 定为约0.3μm～1.2μm的范围时，外缘部的膜厚T1为例如约3μm～5 μm左右的范围。另外，膜厚T1比其他部分的膜厚t大的外缘部的宽度 W1例如为约1mm左右以下的范围。

另外，在液晶装置等的电光装置的基板上形成的膜中，如果膜的外缘 部变厚，则成为电光装置出现显示不良从而显示质量降低的主要原因。

发明内容

本发明提供一种能够防止膜形成时材料液向外缘部移动，从而防止外 缘部的膜厚比其他部分厚的膜形成方法以及显示质量高的电光装置。

为解决上述课题，本发明提供一种膜形成方法，其在基材的涂敷区域 涂敷材料液，并使所述材料液干燥而形成膜，所述膜形成方法的特征在于， 具有：隔壁形成工序，其在所述涂敷区域形成框状的隔壁；材料液涂敷工 序，其在所述涂敷区域涂敷所述材料液；干燥工序，其使所述材料液干燥， 其中，在所述隔壁形成工序中，在比所述涂敷区域的外缘靠所述涂敷区域 的中央侧，形成所述隔壁的所述中央侧的侧面，所述隔壁的高度形成为小 于所述材料液在涂敷时的膜厚且在干燥后的所述膜的膜厚以上。

通过按上述方法形成，当将膜的材料液涂敷到基材上的涂敷区域并使 其干燥时，利用溶剂的蒸发而使材料液的膜厚逐渐减少。并且，在涂敷材 料液时，浸渍于材料液中的隔壁不久与材料液的膜厚等高，到达材料液的 表面。由此，通过隔壁，材料液被分隔为隔壁的外侧的涂敷区域的外缘侧 和由隔壁包围的涂敷区域的中央侧。当材料液的溶剂进一步蒸发时，材料 液的膜厚低于隔壁的高度，材料液的溶质浓度上升。材料液越靠近涂敷区 域的外缘越容易干燥，越靠近涂敷区域的中央部越难以干燥。因此，涂敷 区域的外缘部的材料液的溶质的浓度比中央部的浓度上升，从而在涂敷区 域的外缘部和中央部之间产生浓度的梯度。这时，由于利用隔壁将材料液 的外缘部与中央部分隔开，因此，溶剂从材料液的溶质浓度低的涂敷区域 的中央部向溶质浓度高的外缘部的移动被隔壁所限制。从而，能够防止膜 形成时材料液中的溶剂从中央部向外缘部移动，进而防止外缘部的膜厚比 其他部分厚。另外，由此，能够充分确保涂敷材料液之后用于确保平坦性 的调平时间，从而能够提高膜的平坦性。

另外，在本发明的膜形成方法的特征在于，在所述隔壁形成工序中， 从所述中央侧向所述外缘侧多重形成多个所述隔壁。

通过按上述方法形成，在所述干燥工序中，材料液从涂敷区域的中央 部到外缘部之间，与形成单一的隔壁比较，被分隔为更多的区域。由此， 能够使在各区域分隔的材料液的外缘部侧和中央部侧之间的干燥的容易 度处于更接近的状态，从而能够防止在被分隔的区域内的外缘部侧与中央 部侧之间产生浓度的梯度。从而，能够更有效地防止在膜形成时材料液中 的溶剂从涂敷区域的中央部向外缘部移动，从而能够使膜厚更均匀，进而 能够更加可靠地防止外缘部的膜厚比其他部分厚。

另外，本发明的膜形成方法的特征在于，在所述隔壁形成工序中，涂 敷所述材料液并使其干燥，从而形成由所述材料液构成的所述隔壁。

通过按上述方法形成，能够使用与膜同样的材料，利用与膜的形成同 样的装置及方法来形成隔壁，不需要用于形成隔壁的新装置和新材料。从 而，能够容易地进行膜的形成，进而提高生成率。