[发明专利]接合体的剥离方法无效
申请号: | 200810176390.2 | 申请日: | 2008-11-25 |
公开(公告)号: | CN101444785A | 公开(公告)日: | 2009-06-03 |
发明(设计)人: | 佐藤充;山本隆智;足助慎太郎;森义明;五味一博 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | B09B3/00 | 分类号: | B09B3/00;B29B17/02;H01L21/02 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 李贵亮 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 接合 剥离 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种接合体的剥离方法。
背景技术
在接合2个构件而得到接合体时,过去多数使用的是通过在这些构件之间隔着由环氧系粘接剂、聚氨酯系粘接剂等粘接剂构成的接合层来接合2个构件之间的方法。
另外,在隔着这样的接合层的构件之间的接合中,存在尺寸精密度降低或者固化时间需要很长时间等问题点,所以提出了代替该方法,不使用粘接剂而直接接合2个构件之间的固体接合法(例如参照专利文献1。)。
如上所述的方法被通常用作接合2个构件之间的方法,但近年来,从环境问题的观点出发,需要循环利用使用后的接合体。
在此,为了提高接合体的循环利用率,有必要分割成每个构件来循环利用,但使用如上所述的接合方法使其接合的接合体没有有效地剥离各构件之间的方法,结果,没有提高接合体的循环利用率。
专利文献1:日本特开平5—82404号公报
发明内容
本发明的目的在于提供一种在隔着接合膜接合2个构件之间而成的接合体中,能够利用容易的方法而且有效地剥离2个构件之间的接合体的剥离方法。
利用下述本发明实现这样的目的。
本发明的接合体的剥离方法的特征在于,在第1基材与第2基材隔着含有硅酮材料的接合膜接合而成的接合体中,向所述接合膜赋予剥离用能量,切断构成所述硅酮材料的分子键的一部分,由此在所述接合膜内产生分裂,从所述第1基材上剥离所述第2基材。
这样,在所述接合体中,可以容易且有效地从第1基材剥离第2基材。
在本发明的接合体的剥离方法中,优选所述接合体经过如下所述的工序得到,即:
通过向所述第1基材及所述第2基材的至少一方,供给含有所述硅酮材料的液态材料,形成液态被膜的工序;
干燥所述液态被膜,在所述第1基材及所述第2基材的至少一方得到接合膜的工序;
通过向所述接合膜赋予接合用能量,在所述接合膜的表面附近显现粘接性,隔着该接合膜接合所述第1基材和所述第2基材的工序。
这样,可以形成提供到本发明的接合体的剥离方法的接合体。
在本发明的接合体的剥离方法中,优选所述接合体经过如下所述的工序得到,即:
向所述第1基材及所述第2基材的至少一方,使用等离子(plasma)聚合法,形成所述接合膜的工序;
通过向所述接合膜赋予接合用能量,在所述接合膜的表面附近显现粘接性,隔着该接合膜接合所述第1基材和所述第2基材的工序。
这样,可以形成提供到本发明的接合体的剥离方法的接合体。
在本发明的接合体的剥离方法中,优选在所述等离子聚合法中,作为所述接合膜的原料,使用八甲基三硅氧烷。
由于以八甲基三硅氧烷的聚合物为主要成分的接合膜的粘接性特别出色,所以特别优选用作接合第1基材和第2基材的接合膜。另外,以八甲基三硅氧烷为主要成分的原料在常温下呈液态,具有适度的粘度,所以还具有容易操作的优点。
在本发明的接合体的剥离方法中,优选所述接合用能量的赋予利用向所述接合膜照射能量线的方法、加热所述接合膜的方法以及向所述接合膜赋予压缩力的方法中的至少一种方法进行。
这样,可以有效地活化接合膜的表面。另外,也不会过度切断接合膜中的分子结构,所以在赋予剥离用能量时,可以可靠地在接合膜内产生分裂。
在本发明的接合体的剥离方法中,优选所述剥离用能量的大小大于所述接合用能量的大小。
这样,在赋予接合用能量时,在接合膜的表面附近显现粘接性,在赋予剥离用能量时,可以在接合膜中产生分裂。
在本发明的接合体的剥离方法中,优选所述硅酮材料的主骨架由聚二甲基硅氧烷构成。
此类化合物比较容易获得而且廉价,同时通过向含有此类化合物的接合膜赋予能量,可以容易地切断构成化合物的甲基,结果,可以可靠地在接合膜中显现粘接性,因此可以优选作为硅酮材料使用。
在本发明的接合体的剥离方法中,优选所述硅酮材料具有硅烷醇基。
这样,在使液态被膜干燥从而得到接合膜时,成为邻接的硅酮材料具有的羟基之间结合,得到的接合膜的膜强度变得出色。
在本发明的接合体的剥离方法中,优选所述剥离用能量的赋予利用向所述接合膜照射能量线的方法及加热所述接合膜的方法中的至少一种方法进行。
这样,可以防止在第1基材及第2基材中发生变质·劣化并同时可靠地在接合膜中产生分裂。
在本发明的接合体的剥离方法中,优选所述能量线为波长126~300nm的紫外线。
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