[发明专利]闸阀装置、真空处理装置和闸阀装置中的阀体的开放方法

权利要求书

1.一种闸阀装置，其被设置在腔室的侧壁，用于开闭被处理基板的搬入搬出用的基板搬入搬出口，该闸阀装置的特征在于，包括：

用于闭塞所述基板搬入搬出口的阀体；

使所述阀体在闭塞所述基板搬入搬出口的闭塞位置和与所述基板搬入搬出口相隔开的退避位置之间移动的气缸；和

空气驱动电路，该空气驱动电路对所述气缸进行空气的供给和排出来控制所述气缸的驱动，使得在所述阀体与其他部件接触的第一区域使所述阀体以相对较慢的第一速度移动，在所述阀体不与其他部件接触的第二区域使所述阀体以相对较快的第二速度移动，

所述空气驱动电路具有与所述第一速度对应的第一速度控制阀和与所述第二速度对应的第二速度控制阀，

所述空气驱动电路具有连接在所述第一速度控制阀上的液压控制单向阀和连接在该液压控制单向阀上、调整向该液压控制单向阀的空气的供给速度从而调整所述第一速度和所述第二速度的切换时刻的时刻调整速度控制阀。

2.如权利要求1所述的闸阀装置，其特征在于：

所述空气驱动电路具有连接在所述气缸上的第一以及第二空气供给排出配管和对所述第一空气供给排出配管以及所述第二空气供给排出配管的空气的供给和排出进行切换的电磁阀，所述第一速度控制阀设置在所述第二空气供给排出配管上，所述第二速度控制阀与所述第一速度控制阀并列设置。

3.如权利要求2所述的闸阀装置，其特征在于：

所述空气驱动电路具有在经由所述第一空气供给排出配管及/或所述第二空气供给排出配管进行来自所述气缸的空气的排出时，不通过所述电磁阀而进行高速排气的机构。

4.如权利要求1或3所述的闸阀装置，其特征在于：

具有多个所述气缸。

5.如权利要求4所述的闸阀装置，其特征在于：

所述多个气缸具有使所述阀体在所述基板搬入搬出口的闭塞位置和退避位置之间移动的主气缸以及辅助关闭所述阀体时的推压动作的辅助气缸，该辅助气缸在所述阀体位于所述退避位置时与所述阀体离开。

6.如权利要求5所述的闸阀装置，其特征在于：

所述辅助气缸在使所述阀体从退避位置移动到闭塞位置时，比所述主气缸迟些进行动作。

7.如权利要求1、3、6中的任一项所述的闸阀装置，其特征在于：

所述腔室是被保持成真空的真空室，经由所述搬入搬出口与其他的真空室邻接。

8.一种真空处理装置，包括：

在侧壁具有被处理基板的搬入搬出用的基板搬入搬出口、对被处理基板上实施真空处理的真空处理室；

与所述真空处理室邻接设置、进行相对于所述真空处理室的基板的搬入搬出的真空预备室；和

在所述真空处理室和所述真空预备室之间、能够开闭所述基板搬入搬出口而设置的闸阀装置，该真空处理装置的特征在于：

所述闸阀装置包括：

用于闭塞所述基板搬入搬出口的阀体；

使所述阀体在闭塞所述基板搬入搬出口的闭塞位置和与所述基板搬入搬出口相隔开的退避位置之间移动的气缸；和

空气驱动电路，该空气驱动电路对所述气缸进行空气的供给和排出来控制所述气缸的驱动，使得在所述阀体与其他部件接触的第一区域使所述阀体以相对较慢的第一速度移动，在所述阀体不与其他部件接触的第二区域使所述阀体以相对较快的第二速度移动，

所述空气驱动电路具有与所述第一速度对应的第一速度控制阀和与所述第二速度对应的第二速度控制阀，

所述空气驱动电路具有连接在所述第一速度控制阀上的液压控制单向阀和连接在该液压控制单向阀上、调整向该液压控制单向阀的空气的供给速度从而调整所述第一速度和所述第二速度的切换时刻的时刻调整速度控制阀。

9.一种设置在腔室的侧壁上的、用于开闭被处理基板的搬入搬出用的基板搬入搬出口的闸阀装置中的阀体的开放方法，其特征在于：

在使用气缸作为所述阀体的驱动机构，使用空气驱动电路作为该气缸的驱动控制部，使所述阀体从闭塞所述基板搬入搬出口的闭塞位置移动到与所述基板搬入搬出口相隔开的退避位置时，在所述阀体上存在与其他的部件的接触部的第一区域上使所述阀体以相对较慢的第一速度动作，在所述阀体上不存在与其他的部件的接触部的第二区域上使所述阀体以相对较快的第二速度动作，在所述阀体的速度控制中使用与所述第一速度对应的第一速度控制阀和与所述第二速度对应的第二速度控制阀，

在所述第一速度控制阀上连接有液压控制单向阀，在所述液压控制单向阀上连接有时刻调整速度控制阀，

调整向所述液压控制单向阀的空气的供给速度，从而调整所述第一速度和所述第二速度的切换时刻。