[发明专利]图案检查装置

权利要求书

1.一种图案检查装置，其特征为：

具备：对形成有图案的工件照射反射照明光的反射照明机构；对被上述反射照明机构照明了的上述图案进行摄像的摄像机构；及保持工件的工件保持机构，

在上述摄像机构的视野内，设有：将来自上述反射照明机构的光朝摄像机构进行反射的反射构件。

2.一种图案检查装置，其特征为：

具备：对形成有图案的工件照射反射照明光的反射照明机构；对被上述反射照明机构照明了的上述图案进行摄像的摄像机构；保持工件的工件保持机构；具备上述反射照明机构与上述摄像机构的摄像单元；及使上述工件保持机构相对地移动的移动机构，

在上述摄像机构通过的区域，设有：将来自上述反射照明机构的光朝摄像机构进行反射的反射构件。

3.一种图案检查装置，其特征为：

具备：对形成有图案的长条状的薄膜工件照射反射照明光的反射照明机构；对被上述反射照明机构照明了的上述图案进行摄像的摄像机构；保持上述薄膜工件的工件保持机构；及使具备上述反射照明机构与上述摄像机构的摄像单元朝上述工件的宽度方向移动的摄像单元移动机构，

在上述摄像机构通过的区域，设有：将来自上述反射照明机构的光朝摄像机构进行反射的反射构件。

4.如权利要求3所述的图案检查装置，其特征为：

上述反射构件设置于工件保持机构的工件的宽度方向两侧。

5.如权利要求1、2、3或4任一项所述的图案检查装置，其特征为：

上述反射构件，其反射面为倒圆锥状或圆锥状。