[发明专利]图案检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及对形成于基板的图案照射照明光，获得被照明了的图案图像，自动地进行检查的图案检查装置，特别涉及在每次进行图案的检查时，可测定照明光的照度，防止不良遗漏的图案检查装置。

背景技术

公知有如下的图案检查装置：具备对带状工件的宽度方向赋予张力的工件保持机构，对被该保持机构所保持的薄膜状带状工件照射照明光，通过摄像机构，对形成于带状工件的图案予以摄像，进行图案检查(参照例如专利文献1，专利文献2等)。

另外，本发明者在先提案有如下的图案检查装置及图案检查方法：在对形成于透光性的基板上的图案照射照明光，根据所拍摄的图像判断图案的良否的图案检查中，对透光性基板，进行下述照明，即利用由基板的形成有图案的侧，以对检查区域倾斜地射入的方式进行照射的第1照明机构的照明；及利用由与基板的形成有图案侧相反侧照射照明光的第2照明机构的照明，并对基板，通过设置于第1照明机构侧的摄像机构，对基板的图案进行摄像(日本特愿2007-137577号)。

通过使用此图案检查装置及图案检查方法，根据由摄像机构所拍摄的图像的辉度分布图案，能够检测配线图案的线宽及图案上有无凹坑(凹部；pit)，能以1次的摄像图像进行凹坑的检测与图案的线宽的测定，因此能够在短时间内进行有无凹坑的存在与图案的宽度检查。

[专利文献1]日本特开2004-28597号公报

[专利文献2]日本特开2006-17642号公报

若依据上述日本特愿2007-137577号，通过利用对检查区域倾斜地照射的第1照明机构(反射照明机构)的照明光，检测位于图案上的凹坑。详细而言，当在图案上存在有凹坑时，则被该部分所反射的照明光射入至摄像机构，作为明亮的部分被摄像。另外，通过从与形成有基板的图案侧相反侧进行照射的第2照明机构(透射照明机构)的照明光来测定图案的线宽。

作为反射及透射照明机构的光源，可考虑使用灯、LED等，但无论使用哪一个，照度均会因时间变化而降低。作为照度随时间降低的状态，考虑下述3种组合。

(1)仅透射照明机构的照度降低的情况。

(2)仅反射照明机构的照度降低的情况。

(3)反射照明机构与透射照明机构双方降低的情况。

以下，说明关于各自的情况，说明检查装置如何进行动作。

(1)仅透射照明机构的照度降低的情况。

透射照明机构，形成有配线图案的部分照明光不通过，而透光性的基板的部分照明光通过，检测配线图案的线宽。

当透射照明光的照度降低时，通过基板的部分的照明光的量变少，因此，基板的部分也变暗，所拍摄的图像整体性变暗。因此，检查装置会错误判断为线宽较粗的不良。以后，此线宽较粗的不良会连续产生。

(2)仅反射照明机构的照度降低的情况。

当反射照明机构的照度较低时，即使在图案的表面存在有凹部(凹坑)，也无法明亮地摄像，其结果，无法检测到凹部(凹坑)的存在。但，由于透射照明机构的照度为正常，因此图案的线宽能正常地进行测定。因此，若在线宽无异常的话，则会遗漏凹部(凹坑)的存在，造成视为良品的情况产生。

(3)反射照明机构与透射照明机构双方降低的情况。

与仅透射照明机构的照度降低的情况相同。即，由于通过基板的部分的照明光的量变少，所以基板的部分也变暗，所拍摄的图像整体性变暗。因此，检查装置会错误判断为线宽较粗的不良。以后，此线宽较粗的不良会连续产生。

上述(1)的仅透射照明机构的照度降低的情况、与上述(3)的反射照明机构和透射照明机构双方降低的情况，会将良品错误判断为不良品，但至少不会遗漏不良品。另外，若加上当线宽较粗的不良情况连续产生时使装置停止并测定透射照明的照度的控制的话，能够减少将良品错误判断为不良品的件数。

但，在仅反射照明机构的照度降低的情况，会有遗漏不良，而使不良品作为良品而流出，及未发现其照度降低的状态长时间持续的情况。为了防止此情况，必须定期地测定反射照明机构的照度，确认是否为预先设定的照度值(照度的下限值)以上来进行检查。

为了测定照明光的照度，例如在工件的检查区域配置照度计，对该处照射照明光，进行照度测定。

但，照度也有以某时间点为分界，急剧地降低的情况，对预测成为下限值以下的时间点极为困难。因此，需要频繁地进行照度的测定，但当照度测定的次数增加时，则会造成工件的图案检查的时间相应变长，处理量降低。

发明内容