[发明专利]显示面板及其制造方法

权利要求书

1.一种显示面板的制造方法，所述显示面板具备由第一电极、至少由一层构成的载流子输送层、和第二电极层叠而成的发光元件，其中，该方法包括以下工序：

在基板上的规定区域上形成所述第一电极的工序；

在包含所述第一电极的所述基板上形成绝缘膜的工序；

在所述绝缘膜上形成第一半导体层的工序；

在所述第一半导体层上形成掺杂了杂质的n⁺硅层的工序；

通过蚀刻气体将所述掺杂了杂质的n⁺硅层和所述第一半导体层和所述绝缘膜连续地图案化，从而形成只露出所述第一电极的规定区域的开口部的工序；

至少在所述开口部露出的所述第一电极上形成所述载流子输送层的工序。

2.根据权利要求1所述的显示面板的制造方法，其中，所述绝缘膜通过浸蚀基板的蚀刻气体进行图案化，所述绝缘膜是氮化硅或氧化硅。

3.根据权利要求2所述的显示面板的制造方法，其中，所述蚀刻气体是氧和SFO₆的混合气体。

4.根据权利要求1～3中任何一项所述的显示面板的制造方法，其中，形成有所述开口部的所述绝缘膜包含晶体管的栅极绝缘膜。

5.根据权利要求4所述的显示面板的制造方法，其中，该方法包括在形成所述第一电极的工序后，形成所述晶体管的源电极或漏电极中的任何一个的工序。

6.根据权利要求1～3中任何一项所述的显示面板的制造方法，其中，形成有所述开口部的所述绝缘膜包含层间绝缘膜。

7.根据权利要求6所述的显示面板的制造方法，其中，该方法包括在所述层间绝缘膜上通过将感光性树脂层图案化而形成堤的工序。

8.根据权利要求7所述的显示面板的制造方法，其中，该方法包括在形成所述堤的工序后，用纯水洗涤所述基板，并实施氧等离子体处理或UV臭氧处理，使所述第一电极表面相对于含有有机化合物的液体亲液化的工序。

9.根据权利要求8所述的显示面板的制造方法，其中，该方法包括在使所述第一电极亲液化的工序后，使所述堤的表面相对于所述含有有机化合物的液体疏液化的工序。

10.根据权利要求9所述的显示面板的制造方法，其中，形成所述载流子输送层的工序是在使所述堤的表面疏液化的工序后，涂布所述含有有机化合物的液体来形成所述载流子输送层。

11.根据权利要求10所述的显示面板的制造方法，其中，该方法包括在形成所述载流子输送层的工序后，在所述载流子输送层上形成所述第二电极的工序。

12.根据权利要求4所述的显示面板的制造方法，其中，该方法包括在形成所述第一电极的工序之前，在所述基板上用酸系蚀刻剂通过湿法蚀刻形成所述晶体管的栅电极的工序。

13.一种显示面板的制造方法，所述显示面板具备由第一电极、至少由一层构成的载流子输送层、和第二电极层叠而成的发光元件，其中，该方法包括以下工序：

在基板上的规定区域上形成所述第一电极的工序；

在形成所述第一电极后，在包含所述第一电极的所述基板上形成绝缘膜的工序；

在形成所述绝缘膜后，在所述绝缘膜上形成半导体层的工序；

在形成所述半导体层后，在所述半导体层上形成掺杂了杂质的n⁺硅层的工序；

按照使所述第一电极的至少一部分露出的方式，通过蚀刻气体连续地除去所述绝缘膜和所述半导体层和所述掺杂了杂质的n⁺硅层的工序；

在露出的所述第一电极上形成所述载流子输送层的工序；

在所述载流子输送层上形成所述第二电极的工序。

14.一种显示面板，其具备由第一电极、至少由一层构成的载流子输送层、和第二电极层叠而成的发光元件，其中，该显示面板包括：

基板，其具有在绝缘膜的蚀刻气体中不暴露的规定区域；

所述第一电极，其设在所述基板的所述规定区域上；

所述绝缘膜，其形成于包含所述第一电极的所述基板上，具有露出所述第一电极的规定区域的开口部；

形成在所述绝缘膜上的第一半导体层；

形成在所述第一半导体层上的掺杂了杂质的n⁺硅层；

所述载流子输送层，其至少形成于在所述开口部露出的所述第一电极上；

所述第二电极，其形成于所述载流子输送层上，

在所述开口部的至少一端，所述开口部的形状由所述绝缘膜、所述第一半导体层及所述掺杂了杂质的n⁺硅层的端部的形状规定。