[发明专利]微型加热器及其制造方法以及形成图案的方法

权利要求书

1.一种微型加热器，包括：

基板上的金属图案；

支撑件，在所述金属图案的下面，所述支撑件将所述金属图案固定到所 述基板同时将所述金属图案与所述基板间隔开；以及

间隔物，在所述基板上并邻近所述金属图案，从所述基板到所述间隔物 的顶表面的第一距离大于从所述基板到所述金属图案的顶表面的第二距离。

2.如权利要求1所述的微型加热器，还包括：

所述金属图案上的转移材料，当所述金属图案被加热时所述转移材料蒸 发。

3.如权利要求2所述的微型加热器，其中所述转移材料包括电致发光材 料或金属材料。

4.如权利要求1所述的微型加热器，还包括：

所述间隔物上的金属层。

5.如权利要求1所述的微型加热器，其中所述金属图案包括钨、钼和碳 化硅中的一种或多种。

6.如权利要求1所述的微型加热器，其中所述支撑件或所述间隔物包括 玻璃和氧化硅中的一种或多种。

7.如权利要求1所述的微型加热器，还包括：

目标基板，在所述间隔物上并在所述金属图案的上面。

8.如权利要求7所述的微型加热器，其中所述目标基板与所述间隔物间 隔开。

9.一种微型加热器阵列，具有平行地布置的两个或多个根据权利要求1 所述的微型加热器。

10.一种微型加热器的制造方法，包括：

形成并图案化基板上的加热层；

在所述基板上形成绝缘层，所述绝缘层比图案化的加热层更厚；以及

蚀刻所述基板的一部分和所述绝缘层以形成邻近所述图案化的加热层 的间隔物以及置于所述图案化的加热层与蚀刻的基板之间的支撑件。

11.如权利要求10所述的方法，还包括：

在形成所述加热层之前在所述基板上形成牺牲层，

其中形成所述间隔物和所述支撑件包括蚀刻所述牺牲层。

12.如权利要求11所述的方法，其中所述牺牲层包括氧化硅。

13.如权利要求10所述的方法，还包括：

在所述绝缘层上形成金属层，

其中形成所述间隔物包括蚀刻所述金属层。

14.如权利要求10所述的方法，其中所述加热层包括钨、钼和碳化硅中 的一种或多种。

15.如权利要求10所述的方法，其中所述绝缘层包括氧化硅。

16.一种采用根据权利要求1所述的微型加热器形成图案的方法，包括：

在所述金属图案上形成转移材料；

将目标基板置于所述间隔物上且在所述金属图案的上面；以及

施加电源到所述金属图案以将所述转移材料从所述金属图案选择性地 蒸发并转移到所述目标基板从而形成所述图案。

17.如权利要求16所述的方法，其中所述目标基板结合到所述间隔物或 与所述间隔物间隔开。

18.如权利要求16所述的方法，其中所述转移材料包括电致发光材料或 金属材料。

19.如权利要求16所述的方法，还包括：

重复所述方法以在所述目标基板上形成多个图案。