[发明专利]微型加热器及其制造方法以及形成图案的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种微型加热器、微型加热器的制造方法以及形成图案的方 法。

背景技术

有机电致发光(electroluminescent，EL)材料在有源矩阵有机发光二极管 (active matrix organic light-emitting diode，AMOLED)中普遍地使用。然而， 有机EL材料具有较弱的稳定性。因此，采用常规的光刻工艺从有机EL材 料形成图案是相对困难的。

采用遮光板(shadow mask)的蒸发方法通常用于由有机EL材料形成图 案。蒸发方法通过将有机EL材料蒸发并沉积到安装有遮光板的基板上来形 成图案。采用激光的转移方法(例如，激光转写(laser-induced thermal imaging， LITI)、激光诱导图案升华(laser-induced pattern-wise sublimation，LIPS))通 常也用于形成图案。LITI和LIPS方法使用激光扫描来加热随后沉积为所需 图案的材料。

发明内容

根据示例性实施例的微型加热器可以包括金属图案、支撑件(support) 和间隔物(spacer)。金属图案可以在基板上形成。支撑件可以在金属图案的 下面形成，支撑件在将金属图案与基板间隔开的同时将金属图案固定到基 板。间隔物可以在基板上形成并且邻近金属图案，从基板到间隔物的顶表面 的第一距离大于从基板到金属图案的顶表面的第二距离。根据示例性实施例 的多个微型加热器可以平行地布置以形成微型加热器阵列。

根据示例性实施例的微型加热器的制造方法可以包括：在基板上形成加 热层并图案化该加热层。绝缘层可以在基板上形成，该绝缘层比图案化的加 热层更厚。基板的一部分和绝缘层可以被蚀刻以形成邻近图案化的加热层的 间隔物以及处于图案化的加热层与被蚀刻的基板之间的支撑件。

根据示例性实施例的采用微型加热器形成图案的方法可以包括设置基 板上的金属图案以及邻近该金属图案的间隔物。转移材料(transfer material) 可以在金属图案上形成。目标基板(target substrate)可以置于间隔物上并在 金属图案的上面。电源可以施加到金属图案，以将转移材料从金属图案选择 性地蒸发并转移到目标基板以形成图案。

附图说明

通过结合附图并参照下面详细的描述，示例性实施例的上述和其它的特 征可以被更好地理解，附图中：

图1是根据示例性实施例的微型加热器的透视图；

图2是沿线I-I’剖取的图1的微型加热器的横截面图；

图3是沿线J-J’剖取的图1的微型加热器的横截面图；

图4是图1的微型加热器的平面图；

图5是根据示例性实施例的另一个微型加热器的透视图；

图6是根据示例性实施例的微型加热器阵列的透视图；

图7A到7F是根据示例性实施例的微型加热器的制造方法的横截面图；

图8A到8C是根据示例性实施例的采用微型加热器形成图案的方法的 横截面图；以及

图9是示出根据示例性实施例的方法形成的图案的照片。

具体实施方式

应当理解，当称一个元件或层在另一个元件或层“上”、“连接到”、“耦 合到”或“覆盖”另一个元件或层时，它可以直接在另一个元件或层上、直 接连接到、耦合到或覆盖另一个元件或层，或者还可以存在插入的元件或层。 相反，当称一个元件“直接在”另一个元件或层上、“直接连接到”或“直 接耦合到”另一个元件或层时，不存在插入的元件或层。整个说明书中相同 的标记指代相同的元件。如此处所用的，术语“和/或”包括一个或多个所列 相关项目的任何及所有组合。

应当理解，虽然这里可以使用术语第一、第二、第三等描述各种元件、 组件、区域、层和/或部分，但这些元件、组件、区域、层和/或部分不应受 限于这些术语。这些术语仅用于将一个元件、组件、区域、层或部分与另一 元件、组件、区域、层或部分区别开。因此，以下讨论的第一元件、组件、 区域、层或部分可以在不背离示例性实施例的教导的前提下被称为第二元 件、组件、区域、层或部分。