[发明专利]液晶用基板和液晶面板

权利要求书

1.一种液晶面板用基板，在半导体基板上呈矩阵状地形成反射电 极，同时对应于各反射电极形成各晶体管，通过所述晶体管将电压 加在所述反射电极上，其特征在于，包括：

P型阱区(2)，形成在所述半导体基板的表面，比所述半导体基板中 的杂质浓度高；

在所述P型阱区(2)上由栅绝缘膜和杂质浓度高的N型杂质导入 层构成的开关元件；以及

保持电容，由形成在所述P型阱区上的P型掺杂区(8)和电极(9a)之 间夹着绝缘膜(9b)而构成，

所述半导体基板是P型半导体基板，

所述P型掺杂区(8)的表面杂质浓度为1×10¹⁸～5×10¹⁹/cm³，

所述P型阱区(2)的杂质浓度为1×10¹⁷/cm³以下，

在所述反射电极上形成膜厚为500～2000埃的氧化硅的钝化膜。

2.权利要求1所述的液晶面板用基板，其特征在于，

所述保持电容的绝缘膜(9b)的厚度是所述开关元件的栅绝缘膜厚度 的三分之一到五分之一。

3.一种液晶面板，包括：

权利要求1的液晶面板用基板；

透明基板，具有对置电极并与液晶面板用基板相对，所述透明基板与 所述液晶面板用基板被间隙分隔开；和

液晶材料，用来密封所述透明基板与所述液晶面板用基板之间的间 隙。

4.一种电子装置，包括作为显示部分的权利要求3所述的液晶面板。

5.一种投影式显示装置，包括：权利要求4所述的电子装置；光源； 调制来自所述光源的光的所述液晶面板；和投影透镜，用来投影由所述液 晶面板调制的光。