[发明专利]可同时生产五根硅芯及其它晶体材料的高频线圈结构

权利要求书

1、一种可同时生产五根硅芯及其它晶体材料的高频线圈结构，所述的高频线圈结构在高频线圈的下部设置有电流输送暨冷却水输送铜管A(11)及电流输送暨冷却水输送铜管B(12)，高频线圈的高频线圈上面(9)呈向中心位置内陷的斜面，高频线圈的高频线圈下面设有向中心位置内陷的梯形，冷却水道(4)环埋在高频线圈(3)的外部；其特征在于：所述的高频线圈结构包括用于电流(15)导流的分流槽(14)，五个内孔(8)为中部设置一个内孔(8)，另外四个内孔(8)呈“十”字形均匀分布在中部内孔(8)的周围，在电流输送暨冷却水输送铜管A(11)及电流输送暨冷却水输送铜管B(12)一侧的斜开口(13)连接惯通连接中部内孔(8)，所述的分流槽(14)由中部内孔(8)向外延伸至除了斜开口(13)以外的每两个内孔(8)之间。

2、如权利要求1所述的可同时生产五根硅芯及其它晶体材料的高频线圈结构，其特征在于：所述的内孔(8)可设置为圆形内孔(8)、方形内孔(8)、方形内角倒圆内孔(8)、长方形内孔(8)、长方形内角倒圆内孔(8)、三角形内孔(8)、三角形内角倒圆内孔(8)、多边形内孔(8)、不规则多边形内孔(8)、菱形内孔(8)、菱形内角倒圆内孔(8)、梯形内孔(8)、梯形内角倒圆内孔(8)、长圆形内孔(8)或椭圆形内孔(8)。