[发明专利]传感器模块及其制造方法

说明书

技术领域和背景技术

某些磁性速度传感器被用来测量磁性齿轮的速度。这类磁性速度 传感器通常包含具有许多磁性传感器元件的集成电路，例如霍尔传感 器元件或xMR传感器元件(例如，GMR-大型磁阻；AMR-各向异 性磁阻；TMR-隧道磁阻；CMR-巨型磁阻)。永久磁体为传感器元 件提供偏置磁场。当轮旋转时，轮齿通过传感器前面并产生小的场变 化，这种变化可用集成电路检测。检测到的场包含有关轮的角向位置 和旋转速度的信息。另一种类型磁性传感器是磁性开关(如霍尔开关)， 它可用于折叠式手机内确定手机是开着或已关闭。

人们希望能对磁性传感器进行测试，以帮助确保此传感器正常工 作。测试磁性传感器的方法之一，是利用外部磁芯将测试磁场加到传 感器上，并测量传感器的响应。除了外部设备的费用之外，采用这类 外部磁场源的另一个问题是，磁芯和被测试传感器之间必须精确对准。 位置误差可能使测试结果不准确。

发明内容

一种实施例提供制造传感器模块的方法。此方法包括提供基片， 在它的第一主面上有一阵列磁性敏感元件。在基片第一主面上有一阵 列导线。在基片第一主面上有一阵列电连线。在加上电连线之后将基 片分成独立的小块。

附图说明

所含附图可帮助进一步了解本发明，并与本说明书融合，构成它 的一部分。附图演示本发明各实施例，并与说明一起用来解析本发明 的原理。通过参阅以下详细说明更好地了解本发明，将容易领会它的 其它实施例及许多预期的优点。附图各元件彼此不一定成比例。相似 的参考数字表示相应的类似元件。

图1A-1D是按照一个实施例制造传感器模块的示意图。

图2A-2H是按照另一个实施例制造传感器模块的示意图。

图3是按照一个实施例的一种传感器模块(示于图2H)一部分的 更详细示意图。

图4是按照另一个实施例制造传感器模块的示意图。

图5是按照另一个实施例制造传感器模块的剖视图。

图6是按照一个实施例的示于图5的传感器模块的底视示意图。

图7是按照一个实施例的示于图5的传感器模块的底视示意图， 但增加了测试导体。

图8是按照一个实施例的示于图5的传感器模块的侧视图，及用 测试导体产生磁场的示意图。

图9是按照一个实施例的示于图5的传感器模块的底视图，但增 加了测试导体线圈。

图10是按照一个实施例的多芯片模块剖视图，包括测试导体线圈。

图11是图10所示多芯片模块，及按照一个实施例用测试导体线 圈产生磁场的示意图。

具体实施方式

下面的详细说明参考了构成它的一部分的附图，其中举例展示了 可实施本发明的一些具体实施例。说明中用到的方向性术语，如“顶”， “底”，“前”，“后”，“前沿”，“后尾”等，是对所述图形方 位的参照。由于本发明各实施例的元件可处在一些不同的方位，所用 的方向性术语只是展示性而不是限制性的。应该指出，可以采用其它 的实施例，同时可以作结构上和逻辑上的改变，而不偏离本发明的范 围。因此，不应把下面的详细说明看成是限制性的，而且本发明的范 围是由后面的权利要求书界定。

我们希望对磁性传感器进行测试，以帮助确保传感器正常工作。 一种实施例提供磁性传感器模块(例如，集成电路)，它包含至少一 个集成在芯片上的导体，以便在模块的测试模式期间产生磁场。在测 试模式期间加到磁性传感器上的磁场被用来测试该传感器的功能。

图1A-1D是按照一个实施例制造传感器模块的方法示意图。如图 1A所示，提供了一个基片102，在它的第一主面106上包含一阵列磁 性敏感元件104A-104C。如图1B所示，带一阵列导线110-110C的 元件108被加到基片102的第一主面106上。如图1C所示，一阵列 电连线112被加到基片102的第一主面106上。如图1D所示，在加上 电连线112之后，基片102被分成独立的小块，从而形成许多分离的 传感器模块114A-114C。在一个实施例中，电连线112是焊料元件。 在另一个实施例中，电连线112由Au，Cu，Ni，AuSn，或CuSn制成。 在还有一个实施例中，电连线112是用Sn帽盖住的Cu或Au接线柱。