[发明专利]电光学装置的制造方法及液状物喷出装置

权利要求书

1.一种电光学装置的制造方法，具备向基板上形成的凹部内喷出 溶剂中混合了功能层形成材料的液状物，将该液状物充填到所述凹部内 的充填工序；和从该液状物中除去溶剂成分，使所述功能层形成材料固 定在所述凹部内的固定工序，其特征在于，

在所述充填工序中，作为液状物，充填功能层形成材料浓度根据所 述凹部的开口宽度的大小而不同的液状物。

2.根据权利要求1所述的电光学装置的制造方法，其特征在于，

在所述液状物充填工序中，将所述液状物充填到在所述凹部中以弯 液面鼓出的状态，作为所述液状物，与开口宽度相对宽的所述凹部相比， 对开口宽度相对窄的所述凹部充填功能层形成材料浓度高的液状物。

3.根据权利要求1或2所述的电光学装置的制造方法，其特征在 于，

当根据开口宽度的大小使向所述凹部充填的所述液状物的功能层 形成材料浓度不同时，

作为所述液状物，不仅向所述凹部内喷出功能层形成材料浓度不同 的多种液状物，还根据所述开口宽度的大小使该多种液状物向所述凹部 内的喷出量均衡度不同。

4.根据权利要求1或2所述的电光学装置的制造方法，其特征在 于，

当根据开口宽度的大小使向所述凹部充填的所述液状物的功能层 形成材料浓度不同时，

根据所述开口宽度的大小使向所述凹部内喷出的所述液状物的功 能层形成材料浓度不同。

5.根据权利要求1或2所述的电光学装置的制造方法，其特征在 于，

所述开口宽度不同的凹部，形成在不同的基板上。

6.根据权利要求1或2所述的电光学装置的制造方法，其特征在 于，

所述功能层形成材料在所述基板上形成有机电致发光元件的有机 功能层。

7.一种液状物喷出装置，具有供给在溶剂中混合了功能层形成材 料的液状物的液状物供给部；和经由流路与该液状物供给部连接，且具 备向电光学装置用基板上形成的凹部内喷出所述液状物的喷嘴开口的 喷出头；其特征在于，

所述喷出头根据所述凹部的开口宽度的大小，使向所述凹部内充填 的所述液状物的功能层形成材料浓度不同。

8.根据权利要求7所述的液状物喷出装置，其特征在于，

对于所述喷出头而言，将所述液状物充填到在所述凹部中以弯液面 鼓出的状态，作为所述液状物，与开口宽度相对宽的所述凹部相比，对 开口宽度相对窄的所述凹部充填功能层形成材料浓度高的液状物。

9.根据权利要求7或8所述的液状物喷出装置，其特征在于，

所述液状物供给部具备多个分别供给功能层形成材料浓度不同的 多种所述液状物的浓度不同液状物供给部，

所述喷出头作为所述喷嘴开口而具备多个浓度不同喷嘴开口，该多 个浓度不同喷嘴开口分别与所述多个浓度不同液状物供给部连接，向所 述凹部喷出功能层形成材料浓度不同的所述液状物，

不仅从所述多个浓度不同喷嘴开口分别向所述凹部喷出所述多种 类的所述液状物，还根据所述凹部的开口宽度的大小，控制从所述多个 浓度不同喷嘴开口喷出所述液状物的喷出量均衡度。

10.根据权利要求7或8所述的液状物喷出装置，其特征在于，

所述液状物供给部具备多个分别供给功能层形成材料浓度不同的 多种所述液状物的浓度不同液状物供给部，

所述喷出头作为所述喷嘴开口而具备多个浓度不同喷嘴开口，该多 个浓度不同喷嘴开口分别与所述多个浓度不同液状物供给部连接，喷出 功能层形成材料的浓度不同的所述液状物，

不仅从所述多个浓度不同喷嘴开口中的任意一个向所述凹部喷出 所述液状物，还根据凹部的开口宽度的大小，控制应该从所述多个浓度 不同喷嘴开口中的哪一个浓度不同喷嘴开口喷出所述液状物。