[发明专利]电光学装置的制造方法及液状物喷出装置

说明书

技术领域

本发明涉及有机电致发光(以下称作有机EL(Electro Luminescence))装置或液晶装置等电光学装置的制造方法、以及用于 该电光学装置的制造的液状物喷出装置。

背景技术

作为代表性的电光学装置的有机EL装置或液晶装置，被用于便携 式电话、个人计算机或PDA(Personal Digital Assistants)等电子设备 的显示装置中，对于形成这种有机EL装置的有机EL元件的方法提出 了如下方案，即：在基板上形成多个像素电极、和对用于在多个像素电 极上分别形成含有发光层的有机功能层的多个功能层形成区域进行划 分的隔壁后，如图12(a)、(b)、(c)所示，从液状物喷出装置向由隔 壁5b包围的凹部5e内喷出液状物85，向凹部5e内充填液状物85，之 后从液状物85除去溶剂成分，形成有机功能层86(参照专利文献1)。

在采用该方法时，考虑到功能层形成材料向溶剂的溶解性差、或功 能层形成材料为高分子材料时因高浓度化而导致粘度增加，优选如图12 (b)所示，对凹部5e以弯液面鼓出的方式充填液状物85来增添充填 量，由此获取有机功能层86的厚度。

专利文献1：日本特开2002-222695号公报

当以该方法形成有机功能层86时，应该以凹部5e的开口宽度、凹 部5e的深度、液状物85的功能层形成材料浓度、以及液状物85与隔 壁5b的接触角来规定有机功能层86的厚度。

这里，如图12(b)所示，在以弯液面鼓出的方式对凹部5e充填液 状物85时，如果将凹部5e的开口宽度设为W、与隔壁5b的接触角设 为θ，则如图13所示，弯液面的圆弧状表面的曲率半径R如下式所示， R＝W/2sinθ， 由凹部5e的开口宽度W及与隔壁5b的接触角θ规定，与弯液面相当 的斜线部分的面积S可如下式所示

S＝(W²/4sinθ)(θ/sinθ-cosθ)。

因此，当以弯液面鼓出、与隔壁5b的接触角为θ的方式对凹部5e充填 液状物85时，如果不改变凹部5e的深度(隔壁5b的高度h)及液状 物85的功能层形成材料浓度而将开口宽度W设为2倍，则由于与弯液 面鼓出的量相当的液状物85的量变成4倍，所以液状物85的充填量不 同，结果，在开口宽度较宽的凹部5e中形成了膜厚d比开口宽度较窄 的凹部5e中形成的膜厚d厚的有机功能层86。

发明内容

鉴于上述问题，本发明的课题在于，提供一种即便在向开口宽度不同 的凹部充填液状物、除去溶剂来形成功能层的情况下，也可将功能层形成 为相等厚度的电光学装置的制造方法、及用于该电光学装置的制造的液状 物喷出装置。

为了解决上述问题，本发明提供一种电光学装置的制造方法，具备： 向基板上形成的凹部内喷出在溶剂中混合了功能层形成材料的液状物，将 该液状物充填到上述凹部内的充填工序；和从该液状物中除去溶剂成分， 使上述功能层形成材料固定在上述凹部内的固定工序，其特征在于，在上 述充填工序中，作为所述液状物，充填功能层形成材料浓度根据上述凹部 的开口宽度的大小而不同的液状物。

对于实施该制造方法而言，本发明提供出一种液状物喷出装置，具有： 供给在溶剂中混合了功能层形成材料的液状物的液状物供给部；和经由流 路与该液状物供给部连接，且具备向电光学装置用基板上形成的凹部内喷 出上述液状物的喷嘴开口的喷出头，其特征在于，上述喷出头根据上述凹 部的开口宽度的大小，使向上述凹部内充填的上述液状物的功能层形成 材料浓度不同。

本发明在上述液状物充填工序中，将上述液状物充填到在上述凹部中 以弯液面鼓出的状态，作为上述液状物，与开口宽度相对宽的上述凹部相 比，对开口宽度相对窄的上述凹部，充填功能层形成材料浓度高的液状物。 即，在应用了本发明的液状物喷出装置中，对于上述喷出头而言，将上述 液状物充填到在上述凹部中以弯液面鼓出的状态，作为上述液状物，与开 口宽度相对宽的上述凹部相比，对开口宽度相对窄的上述凹部充填功能层 形成材料浓度高的液状物。