[发明专利]一种铝加厚金属化电容器用薄膜的真空蒸发镀膜机无效
| 申请号： | 200810200949.0 | 申请日： | 2008-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN101717916A | 公开（公告）日： | 2010-06-02 |
| 发明（设计）人： | 唐朝明 | 申请（专利权）人： | 上海奥移电器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01G4/33 |
| 代理公司： | 上海天翔知识产权代理有限公司 31224 | 代理人： | 吕伴 |
| 地址： | 201300 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 加厚 金属化 电容 器用 薄膜 真空 蒸发 镀膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种铝加厚金属化电容器用薄膜的真空蒸发镀膜机，包括卷绕系统、真空镀膜室、冷冻系统，扩散泵、阀门、罗茨泵、滑阀泵组成的第一抽真空系统和冷阱式的第二真空系统以及蒸发源，其特征在于，其特征在于，所述蒸发源包括安装于真空镀膜室一侧壁上的同步实施蒸镀铝膜步骤的第一铝坩埚和蒸镀铝加强层步骤所使用的第二铝坩埚，所述第一铝坩埚与主辊之间的连线和第二铝坩埚与主辊之间的连线之间的夹角为40-50度。
2.根据权利要求1所述的全铝加厚金属化电容器用薄膜的真空蒸发镀膜机，其特征在于，所述第二铝坩埚上设置有若干条蒸镀缝隙，每条蒸镀缝隙的宽度为1-3mm。
3.根据权利要求1或2所述的铝加厚金属化电容器用薄膜的真空蒸发镀膜机，其特征在于，在所述第二铝坩埚的上方设置有一可翻转的盖板，所述可翻转的盖板内设置有冷却水道。
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