[发明专利]一种铝加厚金属化电容器用薄膜的真空蒸发镀膜机

说明书

技术领域

本发明涉及金属化电容器用薄膜的真空蒸发镀膜机，特别涉及一种铝加厚金属化电容器用薄膜的真空蒸发镀膜机。

背景技术

现有的金属化电容器用薄膜，是在作为介质材料的基膜(如聚脂薄膜、聚丙烯薄膜等绝缘材料)上用真空镀膜机在高真空条件下采用金属加热蒸发技术镀上金属极板，金属级板可分单铝镀层和铝加厚两层，因其具有独特的自愈特性，广泛用于制造各类电力补偿用或马达启动用交流电容器和直流滤波电容器。金属化薄膜独特的自愈性能，可明显改善和提高金属化薄膜电容器的耐电压能力和使用寿命。在电容器热击穿时挥发，自愈性更加优良，因此铝锌复合金属化薄膜较铝金属化膜具有更好的耐压特性。目前金属化薄膜一般是在整个薄膜先蒸镀上一层铝膜，然后在铝膜上再蒸镀上一层锌加强层，该加强层的宽度一般要比薄膜的宽度小很多，一般位于金属化电容器薄膜的中间，这样既不影响薄膜的耐压性能，又能提高金属化薄膜的自愈性能。

目前，现有的真空蒸发镀膜机只能单独镀铝膜或锌膜或锌铝合金膜，如中国发明专利授权公告号CN1191386C公开的一种锌铝真空蒸发镀膜机，该锌铝真空蒸发镀膜机的锌坩埚和铝坩埚全部设置在一个镀膜室内，蒸发形成的锌、铝混合气体镀到薄膜上，形成锌铝合金薄膜。这类真空蒸发镀膜机不能加工本发明所说的全铝加厚金属化电容器用薄膜。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于提供一种铝加厚金属化电容器用薄膜的真空蒸发镀膜机，以解决真空蒸发镀膜机不能加工铝加厚金属化电容器用薄膜的问题。

本发明所要解决的技术问题可以通过以下技术方案来实现：

一种铝加厚金属化电容器用薄膜的真空蒸发镀膜机，包括卷绕系统、真空镀膜室、冷冻系统，扩散泵、阀门、罗茨泵、滑阀泵组成的第一抽真空系统和冷阱式的第二真空系统以及蒸发源，其特征在于，所述蒸发源包括安装于真空镀膜室一侧壁上的同步实施蒸镀铝膜步骤的第一铝坩埚和蒸镀铝加强层步骤所使用的第二铝坩埚，所述第一铝坩埚与主辊之间的连线和第二铝坩埚与主辊之间的连线之间的夹角为40-50度。

所述第二铝坩埚上设置有若干条蒸镀缝隙，每条蒸镀缝隙的宽度为1-3mm。

为了使本发明的真空蒸发镀膜机还能用于生产纯铝金属化薄膜，在所述第二铝坩埚的上方设置有一可翻转的盖板，所述可翻转的盖板内设置有冷却水道。

本发明的铝加厚金属化电容器用薄膜的真空蒸发镀膜机能够在蒸镀上铝膜后，马上在蒸镀好铝膜的表面蒸镀上铝加强层，两个蒸发步骤同时进行，实现了铝金属化电容器留边加厚，最大优点是形成以层天然氧化层，抗潮湿能力强，储存周期长，自愈性能好，自愈后金属化膜能生成Al₂O₃，不影响电容器参数。同时本发明提高了整个镀膜的质量，同时也提高了蒸镀效率，解决了国内外现有真空蒸镀机无法制备铝加厚金属化电容器用薄膜的问题。同时本发明的全铝加厚金属化电容器用薄膜的真空蒸发镀膜机还能用来生产纯铝的金属化电容器用的薄膜。

附图说明

图1为本发明铝加厚金属化电容器用薄膜的真空蒸发镀膜机的结构示意图。

图2为本发明的第一铝坩埚、第二铝坩埚与主轴之间的布置关系图。

图3为图3的A向视图。

具体实施方式

为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本发明。