[发明专利]基于导电聚合物-碳黑颗粒的气敏微传感器无效
| 申请号： | 200810201242.1 | 申请日： | 2008-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN101387614A | 公开（公告）日： | 2009-03-18 |
| 发明（设计）人： | 李以贵;高阳;张俊峰 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 导电 聚合物 碳黑 颗粒 气敏微 传感器 | ||
1、一种基于导电聚合物-碳黑颗粒的气敏微传感器，其特征在于，从底层到顶层依次包括硅衬底、二氧化硅层、氮化硅膜、钛层、加热电阻丝与梳状叉指电极、聚合物-碳黑混合物敏感膜，其中每一层直接覆盖在下一层的上面，所述硅衬底、二氧化硅层、氮化硅膜、钛层自下而上构成传感器的支撑结构。
2、根据权利要求1所述的基于导电聚合物-碳黑颗粒的气敏微传感器，其特征是，所述聚合物-碳黑混合物敏感膜，其中导电聚合物与碳黑颗粒混合质量比为4：1。
3、根据权利要求1或2所述的基于导电聚合物-碳黑颗粒的气敏微传感器，其特征是，所述聚合物-碳黑混合物敏感膜，其厚度为30μm。
4、根据权利要求1所述的基于导电聚合物-碳黑颗粒的气敏微传感器，其特征是，所述加热电阻丝与梳状叉指电极，其材料为铂金材料。
5、根据权利要求1或4所述的基于导电聚合物-碳黑颗粒的气敏微传感器，其特征是，所述加热电阻丝与梳状叉指电极，其厚度分别为1μm。
6、根据权利要求1所述的基于导电聚合物-碳黑颗粒的气敏微传感器，其特征是，所述硅衬底，其厚度为450μm。
7、根据权利要求1所述的基于导电聚合物-碳黑颗粒的气敏微传感器，其特征是，所述二氧化硅层，其厚度为50μm。
8、根据权利要求1所述的基于导电聚合物-碳黑颗粒的气敏微传感器，其特征是，所述氮化硅，其厚度为20μm。
9、根据权利要求1所述的基于导电聚合物-碳黑颗粒的气敏微传感器，其特征是，所述钛层，其厚度为2μm。
10、根据权利要求1所述的基于导电聚合物-碳黑颗粒的气敏微传感器，其特征是，所述传感器的尺寸为1000μm×700μm×550μm。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海交通大学，未经上海交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200810201242.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
