[发明专利]一种复合阻垢缓蚀剂无效
申请号: | 200810207990.0 | 申请日: | 2008-12-26 |
公开(公告)号: | CN101759300A | 公开(公告)日: | 2010-06-30 |
发明(设计)人: | 季淑浥;蒋毅章 | 申请(专利权)人: | 上海淼清水处理有限公司 |
主分类号: | C02F5/08 | 分类号: | C02F5/08 |
代理公司: | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人: | 赵志远 |
地址: | 201512 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 复合 阻垢缓蚀剂 | ||
1.一种复合阻垢缓蚀剂,其特征在于,该缓蚀剂包括以下组分和重量份:磷酸及其盐或有机膦酸及其盐1~100重量份,丙烯酸共聚物5~1000重量份,锌盐1~20重量份,复合药剂0.5~5重量份。
2.根据权利要求1所述的一种复合阻垢缓蚀剂,其特征在于,所述的磷酸及其盐包括磷酸及其盐、聚磷酸钠、偏磷酸钠或磷酸二氢盐,其用量为1~50重量份。
3.根据权利要求2所述的一种复合阻垢缓蚀剂,其特征在于,所述的磷酸及其盐的用量为2~25重量份。
4.根据权利要求3所述的一种复合阻垢缓蚀剂,其特征在于,所述的磷酸及其盐的用量为3~20重量份。
5.根据权利要求1所述的一种复合阻垢缓蚀剂,其特征在于,所述的有机膦酸及其盐包括2-膦酸基丁烷-1,2,4三羧酸及其盐,2-羟基膦酰基乙酸及其盐,多胺基多醚膦酸及其盐,二乙烯三胺五亚甲基膦酸及其盐,乙二胺四甲叉膦酸,己二胺四甲叉膦酸,羟基乙叉二膦酸及其盐,其用量为2~50重量份。
6.根据权利要求5所述的一种复合阻垢缓蚀剂,其特征在于,所述的有机膦酸及其盐的用量为3~40重量份。
7.根据权利要求1所述的一种复合阻垢缓蚀剂,其特征在于,所述的丙烯酸共聚物作为锌盐稳定剂,包括丙烯酸/丙烯酸羟丙酯二元共聚物,丙烯烯/烯丙基磺酸/马来酸酐三元共聚物,丙烯酸/丙烯酸-2-丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸二元共聚物,丙烯酸/丙烯酸-2-丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸/丙烯酸酯三元共聚物,丙烯酸/丙烯酸-2-丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸/丙烯酸酯/膦酸四元共聚物,膦端基丙烯酸/丙烯酸-2-丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸共聚物,膦端基丙烯酸/丙烯酸-2-丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸/丙烯酸酯共聚物,膦端基丙烯酸/丙烯酸-2-丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸/马来酸酐共聚物,马来酸酐/丙烯酸-2-丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸共聚物,其用量为10~200重量份。
8.根据权利要求1所述的一种复合阻垢缓蚀剂,其特征在于,所述的丙烯酸共聚物的用量为20~100重量份。
9.根据权利要求1所述的一种复合阻垢缓蚀剂,其特征在于,所述的锌盐包括硫酸锌,氯化锌,硝酸锌或磷酸二氢锌,其用量为2~10重量份。
10.根据权利要求1所述的一种复合阻垢缓蚀剂,其特征在于,所述的复合药剂为咪唑啉类有色金属缓蚀剂,包括苯骈三氮唑、甲基苯骈三氮唑或巯基苯骈噻唑,其用量为1~2.5重量份。
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