[发明专利]压电装置及压电装置的制造方法

权利要求书

1、一种压电装置，包含：

具有第一电极图案和第二电极图案的压电振动片；

具有第一面和位于其相反面的第二面，并承载所述压电振动片的玻璃底板；

封装所述压电振动片的盖部，其特征在于，

所述玻璃底板在所述第一面及第二面上具有端部露出的第一金属线及第二金属线，并且露出在所述第一面的第一金属线及第二金属线的端部分别连接在所述第一电极图案及第二电极图案上。

2、如权利要求1所述的压电装置，其特征在于，所述玻璃底板在所述第一金属线及第二金属线的端部分别具有连接电极。

3、如权利要求1或2所述的压电装置，其特征在于，所述第一金属线及第二金属线的主材料包含铁、铜、镍、不锈钢或科瓦合金。

4、如权利要求3所述的压电装置，其特征在于，所述第一金属线及第二金属线的表面形成有金层。

5、如权利要求1或2所述的压电装置，其特征在于，所述第一金属线及第二金属线的表面进行了加大面粗糙度的加工，以加强与所述玻璃底板的亲和性。

6、一种压电装置的制造方法，其特征在于，具有：

准备盖部晶片的工序；

准备由多个压电振动片形成的压电晶片的工序，该多个压电振动片具有第一电极图案和第二电极图案；

准备玻璃晶片的工序，在该玻璃晶片的第一面及第二面具有露出端部的第一金属线及第二金属线；

相对于所述压电晶片的第一电极图案及第二电极图案重合所述玻璃晶片的第一面的第一金属线及第二金属线的端部，并且将所述盖部晶片重合并接合在所述压电晶片上的工序；

将已接合的3张晶片切割成压电装置的形状的工序。

7、如权利要求6所述的压电装置的制造方法，其特征在于，

准备所述玻璃晶片的工序具有：

在铸型内大致平行地、以所定间隔配置所述第一金属线及第二金属线的工序；

在900℃以下熔融玻璃粉末的工序；

通过使熔融的玻璃流入所述铸型内后凝固，而形成含有所述第一金属线及第二金属线的玻璃块的工序；

其次，与所述金属线大致正交地将所述固形玻璃切成薄片的工序。

8、如权利要求6所述的压电装置的制造方法，其特征在于，

准备所述玻璃晶片的工序具有；

在铸型内大致平行地、以所定间隔配置所述第一金属线及第二金属线，同时放入玻璃粉末的工序；

其次，通过使所述玻璃粉末在900℃以下熔融后凝固，而形成含有所述第一金属线及第二金属线的玻璃块的工序；

其次，与所述金属线大致正交地将所述固形玻璃切成薄片的工序。

9、如权利要求7或8所述的压电装置的制造方法，其特征在于，在所述第一金属线及第二金属线的表面形成玻璃被膜后，以所定间隔配置在所述铸型内，以加强与所述玻璃底板的亲和性。

10、如权利要求7或8所述的压电装置的制造方法，其特征在于，在所述第一金属线及第二金属线的表面进行加大面粗糙度的加工后，以所定间隔配置在所述铸型内，以加强与所述玻璃底板的亲和性。