[发明专利]自动化物料搬运系统和自动化物料搬运方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种自动化物料搬运系统和搬运方法，更特别地，涉及一种结合自动化输送带搬运装置和物料控制系统的自动化物料搬运系统。

背景技术

就目前半导体制造厂内的自动化物料搬运系统(Automated MaterialHandling System，AMHS)来说，在传输系统控制器(Transport SystemController，TSC，其为符合半导体设备和材料协会(Semiconductor Equipmentand Materials International，SEMI)E82通讯协定的半导体控制装置)间传送，皆需通过仓储装置(Stocker，STK)才能将晶片盒(Front Opening UnifiedPod，FOUP)由传输系统控制器转传至另一传输系统控制器。如图1所示，传输系统控制器110必须先将晶片盒(FOUP)200搬运到仓储装置400后，传输系统控制器130才可自仓储装置400取走晶片盒200。

由于仓储装置400的机器手臂(未显示)在同时间仅可传送单一或一定数量的晶片盒，所以当传输系统控制器110连续将晶片盒传送至仓储装置400时，因为仓储装置400同时可传送的数量有限，导致仓储装置400超出负荷，因而可能产生传送瓶颈，而影响到传送效能。

此外，在目前的自动化传送系统中，自动化输送带搬运装置(Over-HeadConveyer，简称为OHC，即输送带式高架轨道传送系统)无法有效控制流量且皆以单一传输系统控制器(TSC)的方式与物料控制系统(Material ControlSystem，MCS)连接，而并没有以输送带仓储装置(Conveyer StockerController，CSC)与悬吊式搬运车的相关运用。

发明内容

本发明的目的之一在于提供一种结合自动化输送带搬运装置和物料控制系统的自动化物料搬运系统以及自动化物料搬运方法。

基于上述目的，本发明一实施例公开一种结合自动化输送带搬运装置(OHC)和物料控制系统(MCS)的自动化物料搬运系统(AMHS)，包括物料控制系统、传输系统控制器、晶片盒和自动化输送带搬运装置。该自动化输送带搬运装置还包括至少一第一输出/入埠与一第二输出/入埠。该物料控制系统及输送带搬运装置分别将第一虚拟仓储代码与第二虚拟仓储代码赋予该第一输出/入埠与该第二输出/入埠，根据该第一虚拟仓储代码，利用该传输系统控制器将该晶片盒搬运并载入至该第一输出/入埠。该自动化输送带搬运装置将该晶片盒由第一输出/入埠载入至该自动化输送带搬运装置的轨道上，将虚拟搬运车代码赋予该晶片盒，并根据该虚拟搬运车代码，经由该轨道移动该晶片盒，并且将该晶片盒自该轨道搬运至并载入该第二输出/入埠，并且将该晶片盒的该虚拟搬运车代码移除。该物料控制系统根据该第二虚拟仓储代码，利用该传输系统控制器自该第二输出/入埠取走该晶片盒。

本发明一实施例还公开一种自动化物料搬运方法。利用物料控制系统分别将第一虚拟仓储代码与第二虚拟仓储代码赋予自动化输送带搬运装置的第一虚拟缓冲仓储与第二虚拟缓冲仓储。根据该第一虚拟仓储代码，利用传输系统控制器将晶片盒搬运至并载入该第一虚拟缓冲仓储。将该晶片盒自第一虚拟缓冲仓储载入至该自动化输送带搬运装置的轨道上，并且利用该自动化输送带搬运装置将虚拟搬运车代码赋予该晶片盒。根据该虚拟搬运车代码，经由该自动化输送带搬运装置的轨道移动该晶片盒，并且将该晶片盒自该自动化输送带搬运装置的轨道搬运至并载入该第二虚拟缓冲仓储。将该晶片盒的该虚拟搬运车代码移除，并且根据该第二虚拟仓储代码，利用该传输系统控制器自该第二虚拟缓冲仓储取走该晶片盒。

本发明一实施例还公开一种自动化物料搬运方法。分别将第一虚拟缓冲仓储代码与第二虚拟缓冲仓储代码赋予第一输送带仓储装置与第二输送带仓储装置，其中该第一输送带仓储装置包括输出/入埠与第一轨道，且该第一轨道提供多个储位。利用传输系统控制器将晶片盒搬运并载入至该第一输送带仓储装置，并且利用物料控制系统命令该第一输送带仓储装置将该晶片盒自该第一输送带仓储装置的输入埠传送到该第一输送带仓储装置的输出埠。将该晶片盒自该第一输送带仓储装置的该输出埠载入至自动化输送带搬运装置的第二轨道上。当将该晶片盒载入至该第二轨道上时，给予该晶片盒一虚拟搬运车号码。经由该自动化输送带搬运装置的该第二轨道，将该晶片盒搬运并载入至该第二送输送带仓储装置。将该晶片盒的该虚拟搬运车号码移除，并且利用该传输系统控制器自该第二输送带仓储装置取走该晶片盒。