[发明专利]具有光发送单元的探针卡和具有探针卡的存储器测试器

权利要求书

1、一种探针卡，包括：

多个针，连接到存储器的测试端子；，

多个第一端子，连接到所述多个针；

多个第二端子，连接到测试支持单元并相应于多个第一端子；和

多个光发送单元，每个光发送单元连接多个第一端子中的一个和多个第二端子中的一个。

2、如权利要求1所述的探针卡，其中，光发送单元包括：

第一光纤，将光从所述多个第一端子中的一个发送到所述多个第二端子中的一个，

第二光纤，将光从所述多个第二端子中的一个发送到所述多个第一端子中的一个。

3、如权利要求2所述的探针卡，还包括：

第一双向开关，选择性地将所述多个第一端子中的一个连接到第一光纤或第二光纤；

第二双向开关，选择性地将所述多个第二端子中的一个连接到第一光纤或第二光纤。

4、如权利要求3所述的探针卡，其中，第一双向开关根据第一控制电压选择性地将所述多个第一端子中的一个连接到第一光纤或第二光纤，其中

第二双向开关根据第二控制电压选择性地将所述多个第二端子中的一个连接到第一光纤或第二光纤。

5、如权利要求3所述的探针卡，其中，第一双向开关和第二双向开关是单刀双掷开关。

6、如权利要求2所述的探针卡，还包括：

第一光发射单元驱动器和第一光发射单元，设置于所述多个第一端子中的一个和第一光纤之间；

第一光接收单元驱动器和第一光接收单元，设置于所述多个第二端子中的一个和第一光纤之间；

第二光发射单元驱动器和第二光发射单元，设置于所述多个第二端子中的一个和第二光纤之间；和

第二光接收单元驱动器和第二光接收单元，设置于所述多个第一端子中的一个和第二光纤之间。

7、如权利要求6所述的探针卡，其中，第一光发射单元和第二光发射单元都是垂直腔面发射激光器，被配置以发射红外线，其中

第一光接收单元和第二光接收单元是光电二极管，被配置以探测红外线。

8、一种包括用于发送电信号到存储器和从存储器接收电信号的探针卡的存储器测试器，其中探针卡包括：

多个针，连接到存储器的测试端子；

多个第一端子，连接到所述多个针；

多个第二端子，连接到测试支持单元并相应于所述多个第一端子；和

多个光发送单元，每个光发送单元连接所述多个第一端子中的一个和多个相应的第二端子中的一个。

9、如权利要求8所述的存储器测试器，其中，光发送单元包括：

第一光纤，将光从所述多个第一端子中的一个发送到多个所述第二端子中的一个；

第二光纤，将光从多个所述第二端子中的一个发送到多个所述第一端子中的一个。

10、如权利要求9所述的存储器测试器，其中，探针卡还包括：

第一双向开关，选择性地将所述多个第一端子中的一个连接到第一光纤或第二光纤，

第二双向开关，选择性地将所述多个第二端子中的一个连接到第一光纤或第二光纤。

11、如权利要求10所述的存储器测试器，其中，第一双向开关根据第一控制电压选择性地将所述多个第一端子中的一个连接到第一光纤或第二光纤，其中

第二双向开关根据第二控制电压选择性地将所述多个第二端子中的一个连接到第一光纤或第二光纤。

12、如权利要求10所述的存储器测试器，其中，第一双向开关和第二双向开关都是单刀双掷开关。

13、如权利要求9所述的存储器测试器，还包括：

第一光发射单元驱动器和第一光发射单元，设置于所述多个第一端子中的一个和第一光纤之间；

第一光接收单元驱动器和第一光接收单元，设置于所述多个第二端子中的一个和第一光纤之间；

第二光发射单元驱动器和第二光发射单元，设置于所述多个第二端子中的一个和第二光纤之间；和

第二光接收单元驱动器和第二光接收单元，设置于所述多个第一端子中的一个和第二光纤之间。