[发明专利]具有光发送单元的探针卡和具有探针卡的存储器测试器

说明书

技术领域

本示例实施例涉及探针卡和具有探针卡的存储器测试器，更特别地，涉及一种具有光发送单元的探针卡和具有探针卡的存储器测试器。

背景技术

传统的存储器测试器可包括连接到被测试装置(DUT)的电极垫的探针卡。探针卡可将DUT连接到测试控制系统。可通过探针卡从测试控制系统将测试输入信号施加到DUT，通过探针卡将输出信号从DUT发送到测试控制系统。测试控制系统可辨别功能产品和缺陷产品(例如，通过比较发送的输出信号和期望信号值)。

如果DUT的集成度增加，则用于DUT测试的测试时间也会增加。例如，如果用于测试64M动态随机存取存储器(DRAM)所需的时间是T，则测试256M DRAM可需要4T，测试1GB DRAM可需要16T。测试时间会随着DRAM的集成度和/或速度的增加而增加。同样，由于用于处理探针卡中的信号所需的电线数，在探针卡的印制电路板中可能发生信号失真和/或信号减弱现象，并且将被测试的DUT的能力可能降低。

发明内容

本示例实施列提供了一种可具有在两个端子之间发送信号的光发送单元的探针卡，和可具有探针卡的存储器测试器。

探针卡可包括：多个针，连接到存储器的测试端子，多个第一端子，连接到多个针，多个第二端子，连接到测试支持单元并相应于多个第一端子，和多个光发送单元，每个光发送单元连接多个第一端子中的一个和多个第二端子中的一个。

光发送单元可包括：第一光纤，将光从多个第一端子中的一个发送到多个第二端子中的一个；第二光纤，将光从多个第二端子中的一个发送到多个第一端子中的一个。

探针卡还可包括：第一双向开关，选择性地将多个第一端子中的一个连接到第一光纤或第二光纤；第二双向开关，选择性地将多个第二端子中的一个连接到第一光纤或第二光纤。

第一双向开关可根据第一控制电压选择性地将多个第一端子中的一个连接到第一光纤或第二光纤，第二双向开关可根据第二控制电压选择性地将多个第二端子中的一个连接到第一光纤或第二光纤。

第一双向开关和第二双向开关可以是单刀双掷开关。

探针卡可包括：第一光发射单元驱动器和第一光发射单元，设置于所述多个第一端子中的一个和第一光纤之间；第一光接收单元驱动器和第一光接收单元，设置于所述多个第二端子中的一个和第一光纤之间；第二光发射单元驱动器和第二光发射单元，设置于所述多个第二端子中的一个和第二光纤之间；和第二光接收单元驱动器和第二光接收单元，设置于所述多个第一端子中的一个和第二光纤之间。

第一光发射单元和第二光发射单元可以是垂直腔面发射激光器，被配置以发射红外线，其中，第一光接收单元和第二光接收单元可以是光电二极管，被配置以探测红外线。

存储器测试器可包括：探针卡，用于发送电信号到存储器和从存储器接收电信号，探针卡可包括：多个针，连接到存储器的测试端子，多个第一端子，连接到多个针，多个第二端子，连接到测试支持单元并相应于多个第一端子，和多个光发送单元，每个光发送单元连接多个第一端子中的一个和多个相应第二端子中的一个。

测试支持单元可包括连接到多个第二端子的多个测试支持端子。

测试支持单元和探针卡能够发送和接收数字信号。

附图说明

通过参考附图进行详细描述，本示例性实施例的上述和其它特点和优点将会变得更加清楚。附图的目的是描述本示例性实施例，不应被理解为对权利要求范围的限制。除非明确说明，附图不应认为是按比例描绘。

图1是根据本示例实施例的存储器测试器的横截面示意图。

图2是根据本示例实施例的图1的探针卡的结构的示意图。

具体实施方式

这里公开详细的示例性实施例。然而，在此公开的特定结构和功能细节仅仅是用于描述本示例实施例。本示例实施例可以许多不同的形式被实施，且不应被解释为受限于在此阐述的实施例。

因此，尽管本示例实施例可具有不同的修改和替换形式，但是以附图中示例的形式示出其实施例并在此详细描述。然而，应该理解，不在于将示例实施例限制在公开的特定形式，但是相反地，示例实施例在于覆盖落在示例实施例的范围的所有修改、同等物和替换。在整个附图描述中，相同的标号始终表示相同的部件。

应该理解，虽然在这里使用的术语第一、第二来描述不同的部件，这些部件不应受这些术语限制。这些术语只是用来将一个部件与另一部件区分。在不脱离本发明的本示例实施例的范围的情况下，例如，第一部件可以被定义为第二部件，相同地，第二部件也可以被定义为第一部件。如这里所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关所列的项目的任意组合和所有组合。