[发明专利]半导体集成电路

权利要求书

1.一种半导体集成电路，具备：

由沿着第1方向延伸而形成的多个第1布线构成的第1布线层；

在所述第1布线层上，由沿着与所述第1方向垂直的方向即第2方向 延伸而形成的多个第2布线构成的第2布线层；和

在所述第2布线层上，由沿着与所述第2方向相同的方向延伸而形成 的多个第3布线构成的第3布线层。

2.根据权利要求1所述的半导体集成电路，其特征在于，

所述第2布线层与所述第3布线层电连接。

3.根据权利要求1所述的半导体集成电路，其特征在于，

所述第1布线层和所述第2布线层由铜构成；

所述第3布线层由铝构成。

4.根据权利要求1所述的半导体集成电路，其特征在于，

所述第3布线层由与构成焊盘的材料相同的材料构成。

5.根据权利要求1所述的半导体集成电路，其特征在于，

所述多个第3布线的每一个布线的布线宽度比所述多个第2布线的每 一个布线的布线宽度宽。

6.根据权利要求1所述的半导体集成电路，其特征在于，

所述多个第3布线的每一个布线形成为各覆盖所述多个第2布线中的 相邻的两个布线。

7.根据权利要求6所述的半导体集成电路，其特征在于，

所述多个第3布线的每一个布线不在所述多个第2布线中位于所述相 邻的两个布线的旁边的位置的布线上形成。

8.根据权利要求7所述的半导体集成电路，其特征在于，

所述第1布线层，将作为所述第1布线的电源电压的布线和作为所述 第1布线的接地电压的布线各一个交替配置而成；

所述第2布线层，将作为所述第2布线的电源电压的布线和作为所述 第2布线的接地电压的布线各三个交替配置而成；

所述第3布线层，将作为所述第3布线的电源电压的布线和作为所述 第3布线的接地电压的布线各一个交替配置而成。

9.根据权利要求1所述的半导体集成电路，其特征在于，

所述多个第3布线的每一个布线，在其延伸方向上，具有形成为覆盖 所述多个第2布线中相邻的两个布线的部分和形成为只覆盖所述相邻的两 个布线中的一个布线的部分。

10.根据权利要求9所述的半导体集成电路，其特征在于，

所述第1布线层，将作为所述第1布线的电源电压的布线和作为所述 第1布线的接地电压的布线各一个交替配置而成；

所述第2布线层，将作为所述第2布线的电源电压的布线和作为所述 第2布线的接地电压的布线各两个交替配置而成；

所述第3布线层，将作为所述第3布线的电源电压的布线和作为所述 第3布线的接地电压的布线各一个交替配置而成。

11.一种半导体集成电路，至少具备一个布线模块，所述布线模块是 将具有由多个第1布线构成的第1布线层和形成于所述第1布线层上的由 沿着与所述多个第1布线延伸的方向垂直的方向延伸的多个第2布线构成 的第2布线层的网眼电源阵列、在所述多个第1布线延伸的方向以及所述 多个第2布线延伸的方向上各并排两个而构成的；

构成所述布线模块的所述网眼电源阵列的每一个网眼电源阵列中的 所述多个第1布线延伸的方向，相对于位于所述每一个网眼电源阵列的旁 边的位置的所述网眼电源阵列中的所述多个第1布线的延伸的方向，偏离 90°；

构成所述布线模块的所述网眼电源阵列的每一个网眼电源阵列中的 所述多个第2布线延伸的方向，相对于位于所述每一个网眼电源阵列的旁 边的位置的所述网眼电源阵列中的所述多个第2布线的延伸的方向，偏离 90°。