[发明专利]光学拾波器用波前测量装置

权利要求书

1.一种光学拾波器用波前测量装置，具备：

光束分离单元，其将光学拾波器装置所输出的光束分离为被检光束和基准光束生成用光束；

波前整形单元，其将上述基准光束生成用光束进行波前整形而转换成基准光束；

合波单元，其将上述被检光束和上述基准光束互相合波而获得干涉光；

干涉条纹图像取得单元，其基于由该合波单元获得的干涉光而获得载有上述光束的波前信息的干涉条纹图像；和

解析单元，其基于由该干涉条纹图像取得单元获得的干涉条纹图像而进行上述光束的波前解析，

上述解析单元，具备：

图像处理部，其对由上述干涉条纹图像取得单元获得的干涉条纹图像，进行用于去除与上述光束所包含的跟踪用副光束对应的频率成分的滤波处理，获得该滤波处理后的干涉条纹图像；

波前解析部，其基于上述滤波处理后的干涉条纹图像，对包含于上述光束的主光束进行波前解析。

2.根据权利要求1所述的光学拾波器用波前测量装置，其特征在于，

上述图像处理部被构成为：对由上述干涉条纹图像取得单元获得的干涉条纹图像进行傅里叶变换，从获得的振幅光谱去除对应于上述副光束的频率成分，然后进行傅里叶逆变换而获得上述滤波处理后的干涉条纹图像。

3.根据权利要求1或2所述的光学拾波器用波前测量装置，其特征在于，

上述波前整形单元由反射型波前整形单元构成，该反射型波前整形单元具有使上述基准光束生成用光束会聚的会聚透镜、和配置在该会聚透镜的会聚点的微小的反射衍射部而成，并且将所入射的上述基准光束生成用光束的一部分进行波前整形而转换成上述基准光束，且使该基准光束朝向上述光束分离单元而射出。