[发明专利]光学拾波器用波前测量装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种通过使用光干涉技术对成为测定对象的光束进行波前测定的波前测量装置，尤其涉及一种在对从光学拾波器装置输出的、混在有跟踪用副光束的光束进行的波前测定中适合的光学拾波器用波前测量装置。

背景技术

以往，作为使用光干涉技术进行光束的波前测定的装置，一般是具备马赫曾德型干涉仪的光学系统配置的装置，但近几年，具备斐索型干涉仪的光学系统配置或迈克尔逊型干涉仪的光学系统配置的装置由本申请人提出并被实用化(参照下述专利文献1、2)。

斐索型及迈克尔逊型的波前测量装置，其特征在于，作为从测定对象的光束中生成基准光束的单元，使用反射型波前整形单元。此反射型波前整形单元，具备使从测定对象的光束分歧的基准光束生成用光束的一部分逆着入射方向反射而进行波前整形的光学元件(以下称为‘反射衍射部’)。这样的反射衍射部，也可称为反射型针孔，公知有在玻璃基板上形成微小的反射区域、或在针状部件的前端形成微小的反射区域(参照下述专利文献3)、或者在通常的针孔内面侧的背面侧最近处配置反射面等(参照专利文献4)。

【专利文献1】特开2005-345441号公报

【专利文献2】特开2006-343121号公报

【专利文献3】特开2000-97612号公报

【专利文献4】特开昭58-60590号公报

如上述的波前测量装置是使用于例如由CD或DVD等光盘信息读取用光学拾波器装置输出的光束波前测定。在此光学拾波器装置中，一般使用将光源所输出的光束分歧为用于读取比特列的主光束和跟踪用的2个副光束而输出的所谓的3光束法技术。

由这样的光学拾波器装置输出的光束是主光束和副光束混合存在的光束，因此，当将其取入波前测量装置且对其干涉条纹图像进行摄像时，在所摄像的干涉条纹图像就重叠有起因于副光束的多余的干涉条纹成分。因此，即使对干涉条纹图像进行解析也难以得到主光束的有关良好的波前测定结果。

在此，可考虑使用针孔板对副光束进行遮光而仅将主光束取入波前测量装置。然而，在可对副光束进行遮光且仅主光束能通过的位置正确地配置针孔板是困难的，且花费时间。尤其，被构成为使得按照光盘的规格输出相互不同的多个波长光束的光学拾波器装置的情况，因有必要按照成为测定对象的光束的波长改变针孔径，所以测定时要求极多的时间。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于，提供一种在跟踪用副光束混在的状态下对从光学拾波器装置输出的主光束的波前测定能够容易且高精度地进行的光学拾波器用波前测量装置。

为达成上述目的，本发明所涉及的光学拾波器用波前测量装置，具备：光束分离单元，将由光学拾波器装置输出的光束分离为被检光束和基准光束生成用光束；波前整形单元，将上述基准光束生成用光束进行波前整形而转换成基准光束；合波单元，将上述被检光束和上述基准光束互相合波而获得干涉光；干涉条纹图像取得单元，基于由该合波单元获得的干涉光而获得载有上述光束的波前信息的干涉条纹图像；解析单元，基于由该干涉条纹图像取得单元获得的干涉条纹图像而进行上述光束的波前解析，其特征在于，

上述解析单元具备：图像处理部，对由上述干涉条纹图像取得单元获得的干涉条纹图像，进行用于去除与上述光束所包含的跟踪用副光束对应的频率成分的滤波处理，而获得该滤波处理后的干涉条纹图像；

波前解析部，基于上述滤波处理后的干涉条纹图像，对包含于上述光束的主光束进行波前解析。

在本发明，上述图像处理部被构成为：对由上述干涉条纹图像取得单元获取的干涉条纹图像进行傅里叶变换，从获得的振幅光谱去除对应于上述副光束的频率成分后，然后进行傅里叶逆变换而获得上述滤波处理后的干涉条纹图像也可。

另外，上述波前整形单元由反射型波前整形单元构成，该反射型波前整形单元具有使上述基准光束生成用光束会聚的会聚透镜、和配置在该会聚透镜的会聚点的微小的反射衍射部而成，并且将所入射的上述基准光束生成用光束的一部分进行波前整形而转换成上述基准光束，且使该基准光束朝向上述光束分离单元而射出。

上述‘微小的反射衍射部’是指，由聚光(会聚)在该反射衍射部的会聚光束的衍射界限决定大小(优选被构成为比衍射界限还小)，并且有使该会聚光束的至少一部分被波前整形而作为球面波进行反射的功能。作为如此的反射衍射部，可使用各种构成，作为具体的方式，例如可列举出在基板上形成微小的反射区域、在针状部件的前端形成微小的反射区域、或者在针孔背面侧的最近处配置反射面等。