[发明专利]颗粒清除单元及具有该单元的基片传送装置

权利要求书

1.一种清除颗粒的单元，所述单元包括：

壳体；

以垂直方向设在所述壳体中的分区壁，其将所述壳体的内部空间分为第一空间与第二空间；

压力生成部件，其将所述第一空间分为上空间与下空间，并且其可在所述第一空间中以垂直方向移动，以使所述上空间与所述下空间交替生成正压与负压；

第一门与第二门，它们分别铰接至所述壳体侧壁的上部与下部，以通过正压从所述壳体向外打开，及

第三门与第四门，它们分别铰接至所述分区壁的上部与下部，以通过负压从所述上空间及下空间向内打开；

其中所述颗粒经由所述第一空间从所述第二空间清除至外部空间。

2.如权利要求1所述的单元，还包括分别连接至所述第一门、第二门、第三门、及第四门的弹性部件，以关闭已打开的所述第一门、第二门、第三门、及第四门。

3.如权利要求1所述的单元，其中所述第一门与第三门设于所述压力生成部件的上死点的上方，并且所述第二门与第四门设于所述压力生成部件的下死点的下方。

4.如权利要求1所述的单元，还包括移动所述压力生成部件的驱动部。

5.如权利要求1所述的单元，还包括根据所述上空间中的压力以及所述下空间中的压力来打开及关闭所述门的驱动部。

6.一种清除颗粒的单元，所述单元包括：

壳体；

以垂直方向设在所述壳体中的分区壁，其将所述壳体的内部空间分为第一空间与第二空间；

压力生成部件，其将所述第一空间分为上空间与下空间，并且其可在所述第一空间中以垂直方向移动，以使所述上空间与所述下空间交替生成正压与负压；及

铰接至界定出所述上空间与下空间中任意一个的所述壳体侧壁的一部分之上、以及所述分区壁的一部分之上的多扇门，

其中铰接至所述壳体侧壁的一部分之上的所述门通过正压从所述壳体向外打开；

铰接至所述分区壁的一部分之上的门通过负压从所述上空间与下空间中的一个向内打开；

所述颗粒经由所述上空间与下空间中的所述一个从所述第二空间清除至外部空间；且

在界定出所述上空间与下空间中另外一个的所述壳体侧壁的另一部分之上形成穿通的开孔，以使所述上空间与下空间中的所述另一空间与所述外部空间连通。

7.一种传送基片的装置，所述装置包括：

壳体；

以垂直方向设在所述壳体中的分区壁，其将所述壳体的内部空间分为第一空间与第二空间；

压力生成部件，其将所述第一空间分为上空间与下空间，并且其可在所述第一空间中以垂直方向移动，以使所述上空间与所述下空间交替生成正压与负压；

基片支撑部件，其可移动地设在所述第二空间中以支撑及传送所述基片；及

第一门与第二门，它们分别铰接至所述壳体侧壁的上部与下部，以通过正压从所述壳体向外打开，及

第三门与第四门，它们分别铰接至所述分区壁的上部与下部，以通过负压从所述上空间及下空间向内打开；

其中颗粒经由所述第一空间从所述第二空间清除至外部空间。

8.如权利要求7所述的装置，还包括移动所述压力生成部件及所述基片支撑部件的驱动部。

9.如权利要求8所述的装置，其中所述驱动部包括：

滑轮，其设于所述第一空间的上部及下部、以及所述第二空间的上部及下部；及

穿通所述分区壁使所述滑轮互相连接的皮带，

其中所述压力生成部件及所述基片支撑部件安装在所述皮带上，并且通过所述皮带的旋转以垂直方向移动。

10.如权利要求7所述的装置，还包括：

移动所述基片支撑部件的第一驱动部；及

移动所述压力生成部件的第二驱动部。

11.如权利要求7所述的装置，还包括分别连接至所述第一门、第二门、第三门、及第四门的弹性部件，以关闭已打开的所述第一门、第二门、第三门、及第四门。

12.如权利要求7所述的装置，其中所述第一门与第三门设在所述压力生成部件的上死点的上方，并且所述第二门与第四门设在所述压力生成部件的下死点的下方。

13.如权利要求7所述的装置，还包括根据所述上空间中的压力以及所述下空间中的压力来打开及关闭所述门的驱动部。