[发明专利]处理系统的控制装置、控制方法和存储媒体

权利要求书

1.一种处理系统的控制装置，用于控制处理系统，该处理系统包 括：对被处理体进行规定的处理的多个处理室；收纳被处理体的被处 理体收纳港栈；和在所述多个处理室和所述被处理体收纳港栈之间将 被处理体搬送至规定的搬送目的地的搬送机构，该处理系统的控制装 置的特征在于，包括：

搬送目的地决定部，其决定收纳在所述被处理体收纳港栈中的被 处理体的搬送目的地，以将被处理体依次搬送至所述多个处理室中的 正常工作的处理室；

保存部，其在所述多个处理室的任何一个处于禁止被处理体的搬 入的状态的情况下，其暂时在被处理体收纳港栈中保存将所述禁止搬 入的处理室决定为搬送目的地且尚未搬入所述禁止搬入的处理室中的 被处理体；以及

搬送禁止部，在由所述搬送目的地决定部重新决定所述保存后的 被处理体的搬送目的地的情况下，当在被重新决定的所述搬送目的地 的处理室中，在处理所述保存后的被处理体之前实行的处理满足规定 的条件时，禁止将所述保存后的被处理体搬送至新的搬送目的地，禁 止搬送所述保存后的被处理体的规定条件包括根据处理所述保存后的 被处理体之前实行的处理，所述搬送目的地的处理室内部没有调整至 稳定状态的情况。

2.如权利要求1所述的处理系统的控制装置，其特征在于：禁止 搬送所述保存后的被处理体的规定条件包括虽然处理所述保存后的被 处理体之前的处理是应清洁所述搬送目的地的处理室内部的时间，但 是所述之前处理不是清洁处理的情况。

3.如权利要求2所述的处理系统的控制装置，其特征在于：禁止 搬送所述保存后的被处理体的规定条件包括虽然处理所述保存后的被 处理体之前的处理在清洁所述搬送目的地的处理室内部之后，是应进 行干燥的时间，但是所述之前的处理不是干燥处理的情况。

4.如权利要求1所述的处理系统的控制装置，其特征在于：禁止 搬送所述保存后的被处理体的规定条件包括根据处理所述保存后的被 处理体之前实行的处理，所述搬送目的地的处理室内部被调整为接受 包含所述保存后的被处理体的批次的下一批次的状态的情况。

5.一种处理系统的控制装置，用于控制处理系统，该处理系统包 括：对被处理体进行规定的处理的多个处理室；收纳被处理体的被处 理体收纳港栈；和在所述多个处理室和所述被处理体收纳港栈之间将 被处理体搬送至规定的搬送目的地的搬送机构，该处理系统的控制装 置的特征在于，包括：

搬送目的地决定部，其决定收纳在所述被处理体收纳港栈中的被 处理体的搬送目的地，以将被处理体依次搬送至所述多个处理室中的 正常工作的处理室；

保存部，其在所述多个处理室的任何一个处于禁止被处理体的搬 入的状态的情况下，其暂时在被处理体收纳港栈中保存将所述禁止搬 入的处理室决定为搬送目的地且尚未搬入所述禁止搬入的处理室中的 被处理体；以及

搬送禁止部，在由所述搬送目的地决定部重新决定所述保存后的 被处理体的搬送目的地的情况下，当在被重新决定的所述搬送目的地 的处理室中，在处理所述保存后的被处理体之前实行的处理满足规定 的条件时，禁止将所述保存后的被处理体搬送至新的搬送目的地，禁 止搬送所述保存后的被处理体的规定条件包括根据处理所述保存后的 被处理体之前实行的处理，所述搬送目的地的处理室内部被调整为接 受包含所述保存后的被处理体的批次的下一批次的状态的情况。

6.如权利要求4或5所述的处理系统的控制装置，其特征在于： 禁止搬送所述保存后的被处理体的规定条件包括根据处理所述保存后 的被处理体之前实行的清洁处理，所述搬送目的地的处理室内部被调 整为接受所述下一批次的状态的情况。

7.如权利要求4或5所述的处理系统的控制装置，其特征在于： 禁止搬送所述保存后的被处理体的规定条件包括根据处理所述保存后 的被处理体之前实行的干燥处理，所述搬送目的地的处理室内部被调 整为接受所述下一批次的状态的情况。