[发明专利]掩膜版的显影方法

权利要求书

1.一种掩膜版的显影方法，其包括以下步骤：

将显影液加入药液槽中，并加热药液槽中的显影液使其保持在恒定温度；

将曝光好的掩膜版放入药液槽内，保持掩膜版在药液槽内液面以下5-8厘米的深度；

使掩膜版在液面以下作水平移动，浸泡掩膜版于显影液中进行显影，在显影过程中保持所述水平移动的速度为3-5毫米/秒。

2.如权利要求1所述的掩膜版的显影方法，其特征在于，所述显影液在药液槽内的深度为8-15厘米。

3.如权利要求1所述的掩膜版的显影方法，其特征在于，所述药液槽为恒温加热槽，其在显影液加入之前进行预热并保持在所述恒定温度，然后将显影液加入药液槽内进行温热。

4.如权利要求3所述的掩膜版的显影方法，其特征在于，所述预热的温度为22-25℃。

5.如权利要求1所述的掩膜版的显影方法，其特征在于，所述显影液包含质量浓度为25-30％的四甲基氢氧化氨。

6.如权利要求1所述的掩膜版的显影方法，其特征在于，所述掩膜版放入药液槽内、在液面以下移动及其显影过程都通过手工进行操作。

7.如权利要求1所述的掩膜版的显影方法，其特征在于，所述掩膜版浸泡于显影液中进行显影的时间为50-70秒。

8.如权利要求1所述的掩膜版的显影方法，其特征在于，在每次显影完成后，清洗药液槽，然后再加入新鲜的显影液。