[发明专利]电子超纯水的循环回用处理方法

权利要求书

1.一种电子超纯水的循环回用处理方法，其特征在于它包括如下工艺步骤：

A：超滤：首先经过超滤系统过滤脱除悬浮性杂质除去其中的大颗粒固体悬浮物；

B：双氧水氧化分解：在上述超滤后的废水中中投加200-500ppm的双氧水，氧化分解其中的有机物杂质；

C：紫外线照射：将投入了双氧水的污染水通过紫外光照射反应装置，紫外光的波长范围是185-254nm，照射剂量是50-500J/m²，然后让污染水在水箱中停留20-60分钟；

D：反渗透：将经过充分氧化降解处理的废水泵入反渗透膜装置中进行过滤，去除其中的大分子物质及溶解性盐等杂质；

E：混床：将反渗透处理后的水导入混床，通过离子交换继续脱除水中的带电离子等杂质。

2、如权利要求1中所述的电子超纯水的循环回用处理方法，其特征在于所述的超滤系统为中空纤维式超滤系统。

3、如权利要求1中所述的电子超纯水的循环回用处理方法，其特征在于所述的双氧水的游离酸杂质含量不高于0.05％，不挥发物杂质含量不超过0.1％，稳定度达到97％以上。

4、如权利要求1中所述的电子超纯水的循环回用处理方法，其特征在于所述的反渗透膜材料为醋酸纤维素，进压0.7MPa，出压0.6MPa，控制反渗透过滤回收率为80％。

5、如权利要求1中所述的电子超纯水的循环回用处理方法，其特征在于在所述的超滤工艺中采用内压式操作单级过滤方式；所述的超滤装置为中空纤维超滤膜，中空纤维外径/内径为1.3mm/0.8mm，截留分子量150,000，

6、如权利要求1中所述的电子超纯水的循环回用处理方法，其特征在于所述的混床工艺中的混床采用不锈钢外壳材质，填装高纯水电子级混床树脂，工作压力为0.6MPa。