[发明专利]在特殊高低温条件下对光电器件进行测试的装置及方法

权利要求书

1.一种在特殊高低温条件下对光电器件进行测试的装置，其特征在 于，该装置包括：

杜瓦(1)；

设置于该杜瓦正面的对测试波长透明的光窗口(2)；

设置于该杜瓦内部的用于承载被测器件的热沉(3)，热沉(3)上设 置有安装器件的插槽或插孔；

设置于该杜瓦内部的一冷源(5)和一热源(6)；

设置于该杜瓦底端的可打开和关闭的密封门(7)，用于器件的置入与 取出；

设置于该杜瓦顶端的一真空阀门(8)，打开后接通真空泵可将杜瓦(1) 内抽真空，达到一定真空后阀门可关闭；

设置于该杜瓦顶端的一真空液氮阀门(9)，用于打开灌入液氮，同时 控制液氮气化的快慢程度；

被测器件的信号输入输出线(10)和温度控制线(11)，该信号输入 输出线(10)与温度控制线(11)分开，并且用同轴屏蔽线引出；以及

温控仪(4)，具有精确的控温算法，温度控制线(11)和电加热器热 阻丝的电源线经一真空接头与杜瓦内部热沉相连接；

其中，所述热沉(3)和冷源(5)的相对位置以光窗口(2)的方向 进行调整，光窗口(2)侧向或者下向，冷源(5)置于热沉(3)上部， 二者上下连接；光窗口(2)向上时，冷源(5)底部的位置略低于热沉(3)， 热沉(3)与冷源(5)侧向连接。

2.根据权利要求1所述的在特殊高低温条件下对光电器件进行测试 的装置，其特征在于，所述热沉(3)与冷源(5)相连接，热源(6)嵌 入热沉(3)内部，热沉(3)的温度由温控仪(4)进行精确控制。

3.根据权利要求1或2所述的在特殊高低温条件下对光电器件进行 测试的装置，其特征在于，所述冷源(5)为液氮存储罐，所述热源(6) 为电加热器热阻丝。

4.根据权利要求1所述的在特殊高低温条件下对光电器件进行测试 的装置，其特征在于，对于所述光窗口(2)，外部入射光线通过光窗口(2) 直接照射到安装在热沉的器件之上，安装在热沉上的器件发出的光通过光 窗口(2)射出。

5.根据权利要求1所述的在特殊高低温条件下对光电器件进行测试 的装置，其特征在于，所述热沉(3)与其上安装的器件之间热传导良好。

6.一种在特殊高低温条件下对光电器件进行测试的方法，应用于权 利要求1所述的装置，其特征在于，该方法是将标准器件与被测器件置于 可精确控制温度的具有光窗口的真空杜瓦内，光信号通过光窗口进入杜 瓦，被测器件与标准器件在各种温度下的技术参数通过信号输入输出线输 出，对被测器件与标准器件的输出信号进行对比即可得到被测器件光电参 数。