[发明专利]在特殊高低温条件下对光电器件进行测试的装置及方法

说明书

技术领域

本发明涉及光电器件测试技术领域，尤其涉及一种在特殊高低温条件 下对光电器件进行测试的装置及方法。

背景技术

光电子器件包括光探测器、激光器等，应用在非常广泛的领域。由于 不同器件应用的环境温度范围不同，因而对电器件在不同温度下的各种光 电参数有不同的要求。所以在器件的制备和检测过程中，就需要在一个很 大的工作范围内测定其各项光电参数。

单纯的电学参数的测试相对而言比较简单，在一定的高低温装置内进 行测试，将测试连线通过装置壁连接到外部测试设备即可。当需要进行器 件光电参数测试时，就具有一定困难。

比如，如何将测试信号光送到高低温装置之内，并且具有测试的准确 与可重复性，这将具有一定的难度；同时，如果当温度范围较宽，如 -55℃～85℃的工作范围，器件光窗口极易在低温下结霜，影响入射或者出 射光功率，所以影响到光电参数的测试结果。如果使用具有真空功能的能 够达到-55℃的冰箱，那么升降温的时间则很长，而且设备造价很高。

发明内容

(一)要解决的技术问题

有鉴于此，本发明的主要目的在于提供一种在特殊高低温条件下对光 电器件进行测试的装置及方法，以降低在特殊高低温条件下对光电器件进 行测试的复杂性，提高测试的精确度，解决温度过低时光窗口结霜的问题。

(二)技术方案

为达到上述目的，本发明采用的技术方案如下：

一种在特殊高低温条件下对光电器件进行测试的装置，该装置包括：

杜瓦1；

设置于该杜瓦正面的对测试波长透明的光窗口2；

设置于该杜瓦内部的用于承载被测器件的热沉3，热沉3上设置有安 装器件的插槽或插孔；

设置于该杜瓦内部的一冷源5和一热源6；

设置于该杜瓦底端的可打开和关闭的密封门7，用于器件的置入与取 出；

设置于该杜瓦顶端的一真空阀门8，打开后接通真空泵可将杜瓦1内 抽真空，达到一定真空后阀门可关闭；

设置于该杜瓦顶端的一真空液氮阀门9，用于打开灌入液氮，同时控 制液氮气化的快慢程度；

被测器件的信号输入输出线10和温度控制线11，该信号输入输出线 10与温度控制线11分开，并且用同轴屏蔽线引出；以及

温控仪4，具有精确的控温算法，温度控制线11和电加热器热阻丝的 电源线经一真空接头与杜瓦内部热沉相连接；

其中，所述热沉3和冷源5的相对位置以光窗口2的方向进行调整， 光窗口2侧向或者下向，冷源5置于热沉3上部，二者上下连接；光窗口 2向上时，冷源5底部的位置略低于热沉3，热沉3与冷源5侧向连接。

上述方案中，所述热沉3与冷源5相连接，热源6嵌入热沉3内部， 热沉3的温度由温控仪4进行精确控制。

上述方案中，所述冷源5为液氮存储罐，所述热源6为电加热器热阻 丝。

上述方案中，对于所述光窗口2，外部入射光线通过光窗口2直接照 射到安装在热沉的器件之上，安装在热沉上的器件发出的光通过光窗口2 射出。

上述方案中，所述热沉3与其上安装的器件之间热传导良好。

一种在特殊高低温条件下对光电器件进行测试的方法，该方法是将标 准器件与被测器件置于可精确控制温度的具有光窗口的真空杜瓦内，光信 号通过光窗口进入杜瓦，被测器件与标准器件在各种温度下的技术参数通 过信号输入输出线输出，对被测器件与标准器件的输出信号进行对比即可 得到被测器件光电参数。

(三)有益效果

本发明提供的这种在特殊高低温条件下对光电器件进行测试的装置 及方法，装置简单实用，造价低，同时测试精确度非常高，用途广泛，除 了用于光电器件也可以用于半导体材料的光学参数在液氮以上温度的测 试。

另外，本发明提供的这种在特殊高低温条件下对光电器件进行测试的 装置及方法，解决了空气环境中过低温度下光窗口结霜等问题，并且高低 温可以在同一装置中测试，高低温测试结果之间具有相同的测试条件，所 以具有可比性，减小了测试的复杂程度。

附图说明

图1是本发明提供的在特殊高低温条件下对光电器件进行测试的装置 的结构示意图。

具体实施方式