[发明专利]水平测量装置及检测半导体传输系统中片盒水平度的方法

权利要求书

1.一种水平测量装置，其特征在于，包括至少3个压力传感器，所述至少3个压力传感器的下端处于同一平面上。

2.根据权利要求1所述的水平测量装置，其特征在于，包括安装基板，所述至少3个压力传感器固定于所述安装基板的下表面。

3.根据权利要求2所述的水平测量装置，其特征在于，所述至少3个压力传感器的下端所处的平面与所述安装基板平行。

4.根据权利要求2所述的水平测量装置，其特征在于，所述压力传感器的下端连接有触点开关，所述安装基板的上表面对应于所述压力传感器的位置设有指示灯，所述指示灯的供电线路与所述触点开关电连接。

5.根据权利要求4所述的水平测量装置，其特征在于，所述安装基板上设有电源，所述电源通过所述触点开关与所述指示灯电连接。

6.根据权利要求1至5任一项所述的水平测量装置，其特征在于，该水平测量装置的重心高于或低于所述至少3个压力传感器的下端所处的平面。

7.根据权利要求1至5任一项所述的水平测量装置，其特征在于，所述压力传感器有4-8个。

8.一种检测半导体传输系统中片盒水平度的方法，其特征在于，包括步骤：

首先，将片盒放入半导体传输系统中；

然后，将权利要求1至7任一项所述的水平测量装置放入所述片盒的插槽中，所述水平测量装置中，至少有3个压力传感器的下端支撑在所述插槽中；

之后，根据所述至少有3个压力传感器感触到的压力信号判断所述片盒的水平度。

9.根据权利要求8所述的检测半导体传输系统中片盒水平度的方法，其特征在于，对所述压力传感器的触点开关设定一个压力阈值，当所述压力传感器承受的压力超过该阈值时，所述触点开关断开或闭合，并通过指示灯指示；

根据所述至少有3个压力传感器对应的指示灯的指示信息判断所述片盒的水平度。

10.根据权利要求8或9所述的检测半导体传输系统中片盒水平度的方法，其特征在于，所述水平测量装置的安装基板的平面形状与所述片盒中的基片的平面形状相适应。