[发明专利]镀膜支架

权利要求书

1.一种镀膜支架，其包括：

一个支架本体，所述支架本体具有一中心转轴，所述支架本体可绕所述中 心转轴旋转，所述支架本体上设置有多个容置通孔；

至少一基片夹具，每个基片夹具对应设置于每个容置通孔中，所述基片夹 具和所述支架本体之间通过转轴连接，每个基片夹具相连的转轴处设有一 翻面导向槽，所述翻面导向槽由一第一挡块及一第二挡块共同配合形成， 所述第一挡块与所述第二挡块相互分离，所述第一挡块为半月形，所述第 二挡块一端为圆弧形一端为方形，所述第二挡块设置于所述第一挡块的半 月形内部，且圆弧形的一端靠里，所述第一挡块与所述第二挡块之间的间 隙形成所述翻面导向槽，所述翻面导向槽具有开放的两端；及

一个翻面控制装置，所述翻面控制装置包括至少一翻面杆及一控制元件， 所述控制元件用于控制所述翻面杆移动至与所述基片夹具的翻面导向槽 接近的位置，以使所述支架本体绕所述中心转轴旋转时，所述翻面杆在所 述翻面导向槽的导引下自所述翻面导向槽的一端进入，沿所述翻面导向槽 移动，之后从所述翻面导向槽的另一端滑出，带动所述基片夹具翻面。

2.如权利要求1所述的镀膜支架，其特征在于，所述翻面导向槽设置于每一 基片夹具的转轴末端的外侧。

3.如权利要求1所述的镀膜支架，其特征在于，所述翻面导向槽为圆弧形。

4.如权利要求1所述的镀膜支架，其特征在于，所述支架本体为半圆球面状，

所述多个容置通孔呈行列排布于所述支架本体上，每一行上的多个容置通 孔位于同一条水平线上。

5.如权利要求1所述的镀膜支架，其特征在于，所述控制元件为电动马达、 电磁泵或磁流电动机。

6.如权利要求1所述的镀膜支架，其特征在于，所述基片夹具具有多个通孔， 用于容置待镀膜工件。

7.如权利要求1所述的镀膜支架，其特征在于，所述基片夹具材料选自铜、 铝、不锈钢或塑胶中的一种或几种。

8.如权利要求1所述的镀膜支架，其特征在于，所述支架本体材料选自铜、 铝及不锈钢中的一种或几种。