[发明专利]镀膜支架

说明书

技术领域

本发明涉及一种镀膜装置，尤其涉及一种镀膜支架。

背景技术

通常，照相机、数码相机、照相手机镜头模组等光学产品的各种光学镜 片(Lens)、滤光片等光学元件，因为要避免入射光在经过每个元件时，部分 入射光反射而导致的光能损耗，需要在每一个光学镜片的两面镀抗反射膜， 或是在滤光片的一面镀上可滤掉某区段光的薄膜(如红外滤光片，紫外滤光 片)，而在另一面镀上抗反射膜，通过这些光学薄膜以增加光学元件的抗反射 性能，防止光能损耗。

所述光学薄膜的镀膜方式多以热蒸镀或溅镀方式进行。当光学元件两面 都需镀上光学薄膜时，其镀膜过程中通常包括：抽真空、加热、一面镀膜、 冷却、破真空、手动翻转光学元件夹具、抽真空、加热、另一面镀膜、冷却、 破真空、取出光学元件等步骤（参见苏成彬等人发表于1980年第2期的《仪 表技术与传感器》上的《空心圆柱面镀膜用旋转支架》一文，介绍了一种用 于圆柱形光学零件的镀膜用支架及其使用方法）。该镀膜过程中包括两次抽真 空、加热、镀膜、冷却以及破真空过程，占去相当多的制程时间，所以如何 避免所述过程的重复进行，降低制程的时间，对于两面镀膜的元件量产来讲 是极为重要的课题。

发明内容

有鉴于此，提供一种用于镀膜设备中，可实现对镀膜基片夹具自动翻面 的镀膜支架实为必要。

一种镀膜支架，其包括：一个支架本体，所述支架本体具有一中心转轴， 所述支架本体可绕所述中心转轴旋转，所述支架本体上设置有多个容置通孔； 至少一基片夹具，每个基片夹具对应设置于每个容置通孔中，所述基片夹具 和所述支架本体之间通过转轴连接，每个基片夹具相连的转轴处设有一翻面 导向槽，所述翻面导向槽由一第一挡块及一第二挡块共同配合形成，所述第 一挡块与所述第二挡块相互分离，所述第一挡块为半月形，所述第二挡块一 端为圆弧形一端为方形，所述第二挡块设置于所述第一挡块的半月形内部， 且圆弧形的一端靠里，所述第一挡块与所述第二挡块之间的间隙形成所述翻 面导向槽，所述翻面导向槽具有开放的两端；及一个翻面控制装置，所述翻 面控制装置包括至少一翻面杆及一控制元件，所述控制元件用于控制所述翻 面杆移动至与所述基片夹具的翻面导向槽接近的位置，以使所述支架本体绕 所述中心转轴旋转时，所述翻面杆在所述翻面导向槽的导引下自所述翻面导 向槽的一端进入，沿所述翻面导向槽移动，之后从所述翻面导向槽的另一端 滑出，带动所述基片夹具翻面。

相较于现有技术，所述镀膜支架可实现对镀膜基片夹具自动翻面，可以 省去两次抽真空、破真空的时间，从而大量节省制程时间的优点。

附图说明

图1是本发明实施例提供的镀膜支架的立体示意图。

图2至图5是图1中的镀膜支架的基片夹具在翻转时位于不同角度的立 体示意图。

具体实施方式

下面将结合附图，对本发明作进一步的详细说明。

如图1所示，其为本发明实施例提供的镀膜支架100。所述镀膜支架100 包括：一支架本体110、多个基片夹具120及一个翻面控制装置130，所述翻 面控制装置130用于控制所述基片夹具120翻转。

所述支架本体110用导热性能良好的金属制成，其形状呈半圆球面状， 其材料可以为铜、铝或不锈钢等金属中的一种或几种。在本实施例中，所述 支架本体110为不锈钢半圆球。所述支架本体110具有一中心转轴101，所 述支架本体110可绕所述中心转轴101旋转。所述支架本体110上设置有多 个容置通孔112，所述多个容置通孔112的形状为方形。当然，其形状也可 以设置为扇形、圆形等形状。所述多个容置通孔112呈行列排布于所述支架 本体110上，每一行上的多个容置通孔112位于同一条水平线上。

所述每个基片夹具120对应设置于每个容置通孔112中。所述基片夹具 120采用导热性能良好的金属制成，其材料可以为铜、铝或不锈钢等金属中 的一种或几种。当然，所述基片夹具120的材料还可以为塑胶，例如：PC（聚 碳酸脂）加ABS（丙稀腈-丁二烯-苯乙烯共聚物）的合成材料，或PC加玻 璃纤维的合成材料等。所述基片夹具120的形状可以为扇形、圆形或方形等 形状，其原则是只要满足可以装置于支架本体110的容置通孔112内，且翻 转时不会与支架本体110碰撞即可。在本实施例中，所述基片夹具120为方 形。所述多个基片夹具120大小相同且对称分布于所述支架本体110上。