[发明专利]感测器组合

权利要求书

1.一种感测器组合，其特征在于：其包括一基板，在所述基板上设置有 互补金属氧化物半导体图像感测器、陀螺仪、加速度计、声音感测器及射频 感测器，所述声音感测器包括振动膜层和背极板；所述基板包括第一部分和 与所述第一部分间隔的第二部分；所述振动膜层包括悬置端、固定端和波纹 结构；所述固定端固定在所述第一部分上，所述悬置端放置在所述第二部分 之上，所述波纹结构形成于所述固定端与所述悬置端之间；在所述振动膜层 边缘形成若干第一通气孔，所述振动膜层表面涂覆第一电极层；所述背极板 具有边缘，所述边缘固定在所述基板的所述第一部分和所述第二部分上；所 述背极板的内表面涂覆第二电极层；在所述背极板与所述振动膜层之间直接 形成一空气层，且所述第二电极层与所述空气层接触，所述振动膜层与所述 空气层接触；在靠近所述背极板的边缘形成若干第二通气孔；所述第一通气 孔、所述第二通气孔与所述空气层贯通；若干声音孔形成在所述背极板的中 心部分。

2.根据权利要求1所述的感测器组合，其特征在于：所述互补金属氧化 物半导体图像感测器包括光电二极管层、电源线路层、若干门电极、第一绝 缘层、第一金属层、第二绝缘层、第二金属层、第三绝缘层、氮化物层、若 干彩色滤光片、平面化层及若干微透镜；光电二极管层设置在上述基板表面， 电源线路层形成于光电二极管层表面，每一门电极连接在电源线路层与第一 金属层之间，第一绝缘层形成于电源线路层与第一金属层之间，第二绝缘层、 第二金属层、第三绝缘层、氮化物层依序设置在第一金属层表面，上述若干 彩色滤光片形成矩阵，设置于氮化物层表面，平面化层设置于氮化物层表面， 并围绕彩色滤光片，上述若干微透镜设置于平面化层表面。

3.根据权利要求2所述的感测器组合，其特征在于：所述互补金属氧化 物半导体图像感测器进一步包括若干外延层及若干连接件；外延层设置于第 一绝缘层之中，每一连接件连接外延层与电源线路层。

4.根据权利要求3所述的感测器组合，其特征在于：所述外延层为N型硅， 厚度为300～500埃。

5.根据权利要求1所述的感测器组合，其特征在于：所述加速度计包括 一封装体，该封装体为立方体，具有第一平面、第二平面、第三平面和第四 平面；在第一、二、三平面中分别形成一凹槽，在每一凹槽底部设置第一正、 负电极，导电性粘结剂和压电振动片，导电性粘结剂分别设置在第一正、负 电极和压电振动片之间；一盖体气密性地密封每一个凹槽；上述第四平面与 上述基板接触。

6.根据权利要求5所述的感测器组合，其特征在于：所述压电振动片为 音叉结构，其包括基部、第一振动臂和第二振动臂，基部设置于导电性粘结 剂之上；在第一平面中，该第一、第二振动臂以基部为始端，分成二部份平 行地沿X轴延伸；在第二平面中，该第一、第二振动臂以基部为始端，分成 二部份平行地沿Y轴延伸；在第三平面中，该第一、第二振动臂以基部为始 端，分成二部份平行地沿Z轴延伸。

7.根据权利要求6所述的感测器组合，其特征在于：所述基部的正面和 背面两侧分别设置第二正、负电极；第二正电极通过导电性粘结剂与第一正 电极电性连接，第二负电极通过导电性粘结剂与第一负电极电性连接；在第 一、第二振动臂的正面和背面，沿其长度方向分别形成第一、第二条形槽； 在第一条形槽内设置激励负电极，在第一振动臂的两侧面设置激励正电极， 在第二条形槽内设置激励正电极，在第二振动臂的两侧面设置激励负电极； 第二正电极与激励正电极电性连接，第二负电极与激励负电极电极连接。

8.根据权利要求1所述的感测器组合，其特征在于：所述陀螺仪包括一 封装体，该封装体为立方体，具有第一平面、第二平面、第三平面和第四平 面；在第一、二、三平面中分别形成一凹槽，在每一凹槽内设置一陀螺仪元 件，一盖体气密性地密封每一凹槽；第四平面与上述基板接触。

9.根据权利要求8所述的感测器组合，其特征在于：所述陀螺仪元件包 括一主体，在主体的两侧分别延伸出基部；在第一平面中，每一基部沿Z轴 延伸出激励悬臂，在与激励悬臂相反方向延伸出检测悬臂；在第二平面中， 每一基部沿Y轴延伸出激励悬臂，在与激励悬臂相反方向延伸出检测悬臂； 在第三平面中，每一基部沿X轴延伸出激励悬臂，在与激励悬臂相反方向延 伸出检测悬臂。