[发明专利]感测器组合

说明书

技术领域

本发明是关于感测技术领域，特别是关于一种感测器组合。

背景技术

感测器具有许多应用，它的商业潜力正开始被人们所认识。感测器的类 型很多，包括有用于捕捉图像的图像感测器、用于捕捉声音的声音感测器、 用于测量物体的转动角速度的陀螺仪及用于测量运动物体的加速度的加速度 计。这些感测器被广泛使用于数码相机、移动电话、导航仪、笔记本电脑等 产品中。

然而，这些感测器的功能单一，并不能满足多功能的需求。

发明内容

为了解决现有技术中感测器功能单一的技术问题，本发明提供一种多功 能的感测器组合。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案为：所述感测器组合，包括一 基板，在基板上设置有互补金属氧化物半导体图像感测器、陀螺仪、加速度 计、声音感测器及射频感测器。所述声音感测器包括振动膜层和背极板；所 述基板包括第一部分和与所述第一部分间隔的第二部分。所述振动膜层包括 悬置端、固定端和波纹结构。所述固定端固定在所述第一部分上，所述悬置 端放置在所述第二部分之上，所述波纹结构形成于所述固定端与所述悬置端 之间。在所述振动膜层边缘形成若干第一通气孔，所述振动膜层表面涂覆第 一电极层。所述背极板具有边缘，所述边缘固定在所述基板的所述第一部分 和所述第二部分上。所述背极板的内表面涂覆第二电极层。在所述背极板与 所述振动膜层之间直接形成一空气层，且所述第二电极层与所述空气层接触， 所述振动膜层与所述空气层接触。在靠近所述背极板的边缘形成若干第二通 气孔。所述第一通气孔、所述第二通气孔与所述空气层贯通。若干声音孔形 成在所述背极板的中心部分。

所述互补金属氧化物半导体图像感测器包括光电二极管层、电源线路层、 门电极、第一绝缘层、第一金属层、第二绝缘层、第二金属层、第三绝缘层、 氮化物层、若干彩色滤光片、平面化层及若干微透镜；光电二极管层设置在 上述基板表面，电源线路层形成于光电二极管层表面，门电极连接在电源线 路层与第一金属层之间，第一绝缘层形成于光电二极管与第一金属层之间， 第二绝缘层、第二金属层、第三绝缘层、氮化物层依序设置在第一金属层表 面，上述若干彩色滤光片形成矩阵，设置于氮化物层表面，平面化层设置于 氮化物层表面，并围绕彩色滤光片，上述若干微透镜设置于平面化层表面。

所述加速度计包括一封装体，该封装体为立方体，具有第一平面、第二 平面、第三平面和第四平面；在第一、二、三平面中分别形成一凹槽，在每 一凹槽底部设置第一正、负电极，导电性粘结剂和压电振动片，导电性粘结 剂分别设置在第一正、负电极和压电振动片之间；一盖体气密性地密封每一 个凹槽；上述第四平面与上述基板接触。

所述陀螺仪包括一封装体，该封装体为立方体，具有第一平面、第二平 面、第三平面和第四平面；在第一、二、三平面中分别形成一凹槽，在每一 凹槽内设置一陀螺仪元件，一盖体气密性地密封每一凹槽；第四平面与上述 基板接触。

与现有技术相比较，本发明的感测器组合功能多样，具有图像感测、声 音感测、射频感测、角速度测量和加速度测量的功能。

附图说明

图1是本发明实施例的感测器组合的逻辑结构示意图。

图2是本发明实施例的感测器组合的互补金属氧化物半导体图像感测器 的部分剖面图。

图3是本发明实施例的感测器组合的加速度计的立体图。

图4是沿图3中的IV-IV线的剖面图。

图5是本发明实施例的感测器组合的加速度计的压电振动片的示意图。

图6是沿图5的VI-VI线的剖面图。

图7是本发明实施例的感测器组合的陀螺仪的立体图。

图8是本发明实施例的感测器组合的声音感测器的剖面图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及 实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施 例仅用于解释本发明，并不用于限定本发明。

请参阅图1，本发明实施例提供的一种感测器组合10包括互补金属氧化物 半导体(complementary metal oxide semiconductor，CMOS)图像感测器100、 加速度计200、陀螺仪300、声音感测器400及射频(Radio frequency，RF)感 测器500。