[实用新型]光罩盒及其限制件

权利要求书

1、一种光罩盒，其包含：

一上盖体；

一下盖体，用以与该上盖体组合，形成一内部空间可容纳一光罩；

至少一支架，装设于该下盖体；以及

至少一限制件；

其特征在于，该支架具有至少一第一卡设部，该限制件具有至少一第二卡设部，该限制件是用以与该支架的第一卡设部相互卡持。

2、如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，该支架的第一卡设部包含有至少一第一顶持面，且该限制件包括：

至少一座体，是以组装方式装设于该光罩盒的支架内，具有该第二卡设部，且该第二卡设部包括至少一第二顶持面；以及

至少一限位片，设置于该座体上，用以固定该光罩，

其中该限制件的第二卡设部与该支架的第一卡设部相互卡持时，该第一顶持面与该第二顶持面相互抵制。

3、如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，该支架的第一卡设部包含有至少二相对的第一顶持面，且该限制件包括：

至少一座体，是以组装方式装设于该光罩盒的支架内，具至少一第二卡设部，且该第二卡设部包括至少二相对的第二顶持面；以及

至少一限位片，设置于该座体上，用以固定该光罩，

其中该限制件的第二卡设部与该支架的第一卡设部相互卡持时，该第一顶持面与该第二顶持面两两相互抵制。

4、如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，该光罩盒另包含至少一锁固件将该限制件固设于该光罩盒的支架，且该锁固件为一插销、铆钉或螺丝。

5、如权利要求4所述的光罩盒，其特征在于，该支架具有至少一侧边以及至少一第一锁固孔设于该侧边；以及

该限制件具有至少一第二锁固孔对应于该第一锁固孔。

6、如权利要求4所述的光罩盒，其特征在于，该锁固件的材料的成分为选自于由不锈钢、铝合金及镁合金所构成群组的金属。

7、如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，该支架或限制件为一高分子材料所形成，且该高分子材料为聚醚醚酮类化合物或聚酰亚胺类化合物。

8、如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，该支架或限制件为一静电消散材质所形成，且该静电消散材质的电阻值为约10⁴Ω～约10¹¹Ω。

9、如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，该光罩盒为光罩传送盒或光罩保存盒。

10、如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，另包含至少一支撑件设于该支架或该座体上。

11、一种限制件，其特征在于，该限制件的结构包括：

至少一座体，是以组装方式装设于该光罩盒的支架，具有至少一第二卡设部，且该第二卡设部包括至少一第二顶持面；以及

至少一限位片，设置于该座体上，用以固定并抵持该光罩。