[实用新型]一种用于等离子体增强化学气相沉积的进气电极板

权利要求书

1、一种用于等离子体增强化学气相沉积的进气电极板，包括等离子体输出板、电极腔体，其特征在于由下述结构构成：在电极腔体内设有匀气障板和电极匀气板，匀气障板设在电极腔体上的出气口处，出气口与进气管连接，射频电缆设在进气管上，电极匀气板将电极腔体隔离成第一匀气腔和第二匀气腔。

2、根据权利要求1所述的一种用于等离子体增强化学气相沉积的进气电极板，其特征在于所述的电极腔体后部设有电极屏蔽板。

3、根据权利要求2所述的一种用于等离子体增强化学气相沉积的进气电极板，其特征在于所述的电极腔体与电极屏蔽板之间设有暗区绝缘板。

4、根据权利要求2或3所述的一种用于等离子体增强化学气相沉积的进气电极板，其特征于所述的电极屏蔽板固定在电极支架上。

5、根据权利要求1所述的一种用于等离子体增强化学气相沉积的进气电极板，其特征在于所述的第一匀气腔高度为20-40mm，第二匀气腔高度为2-6mm。

6、根据权利要求1所述的一种用于等离子体增强化学气相沉积的进气电极板，其特征在于所述的电极匀气板上设有匀气孔，匀气孔的直径为0.5-1.5mm。

7、根据权利要求1所述的一种用于等离子体增强化学气相沉积的进气电极板，其特征在于所述的出气口设有卡套式密封连接组件，进气管穿过卡套式密封连接组件。

8、根据权利要求7所述的一种用于等离子体增强化学气相沉积的进气电极板，其特征在于所述的卡套式密封连接组件与接头座连接，进气管穿过接头座。

9、根据权利要求8所述的一种用于等离子体增强化学气相沉积的进气电极板，其特征在于所述的接头座为两个，在两个接头座之间设有气路绝缘子，进气管穿过气路绝缘子。

10、根据权利要求9所述的一种用于等离子体增强化学气相沉积的进气电极板，其特征在于所述的气路绝缘子由下述结构构成：两端为与接头座连接的输气密封管，输气密封管与过渡接头连接，两个过渡接头之间设有绝缘陶瓷管，绝缘陶瓷管与过渡接头用封接冒钎焊。