[实用新型]星型点阵结构的涂胶显影设备

权利要求书

1、一种星型点阵结构的涂胶显影设备，其特征是：由盒站模块、第一涂胶或显影模块、第二涂胶或显影模块、第一热处理模块、第二热处理模块、传送机器人模块6个功能模块组成，所述的盒站模块是由第一盒站单元、第二盒站单元和1个对中调整单元组成；所述的第一热处理模块或第二热处理模块是由热处理塔架和多个插装在塔架中的热处理单元体组成；所述的2个盒站单元、2个热处理模块、2个涂胶或显影模块分别占据六边形的六个顶点，1个传送机器人在中心，这样的六边形模块布局组成了星型点阵排布的涂胶显影设备结构。

2、按权利要求1所述的一种星型点阵结构的涂胶显影设备，其特征是：所述的2个涂胶或显影模块在盒站单元对面，并排左右各一，对称设计，可以全部是涂胶模块，也可以全部是显影模块。

3、按权利要求1所述的一种星型点阵结构的涂胶显影设备，其特征是：所述的第一或第二热处理模块是由热处理塔架和多个插装在塔架中的热处理单元体组成，设置在传送机器人两侧。

4.按权利要求1所述的一种星型点阵结构的涂胶显影设备，其特征是：所述的第一或第二热处理中单元体都可以拉出机器外。

5.按权利要求1所述的一种星型点阵结构的涂胶显影设备，其特征是：所述第一盒站单元和第二盒站单元以110～130度夹角摆放在一个平板上，对中调整单元安装在该平板下面，三者组成一个盒站模块。