[实用新型]一种真空退火炉

权利要求书

1.一种真空退火炉，包括工作台、电炉及石英管，其特征在于：在工作台(3)上安装有电炉(1)及进样室(4)，石英管(2)的一端伸入电炉(1)内，另一端通过密封装置与进样室(4)密封连通；进样室(4)上连接有真空获得及测量系统。

2.按权利要求1所述的真空退火炉，其特征在于：所述密封装置包括压盖(9)及水冷腔组件(10)，水冷腔组件(10)套设于石英管(2)上，水冷腔组件(10)的一端与进样室(4)密封连接，另一端密封连接有压盖(9)。

3.按权利要求2所述的真空退火炉，其特征在于：所述水冷腔组件(10)为由内外壁围成的中空圆柱，内外壁之间留有空隙。

4.按权利要求2所述的真空退火炉，其特征在于：在水冷腔组件(10)与石英管(2)之间还设有隔套(12)，隔套(12)套设于石英管(2)上，两侧通过第二O型密封圈(13)分别与压盖(9)及水冷腔组件(10)密封抵接。

5.按权利要求1所述的真空退火炉，其特征在于：所述电炉(1)上安装有移动装置，电炉(1)通过移动装置可在工作台(3)上往复移动。

6.按权利要求5所述的真空退火炉，其特征在于：所述移动装置包括导轨(14)、车轮(15)、轴(16)及轮架(17)，电炉(1)的下方通过支架(19)连接有底板(18)，在底板(18)的下方安装有轮架(17)，车轮(15)通过轴(16)安装在轮架(17)上；工作台(3)上铺设有导轨(14)，电炉(1)通过车轮(15)与导轨(14)配合连接可在工作台(3)上往复移动。

7.按权利要求1所述的真空退火炉，其特征在于：该退火炉还配备有喷水装置(20)，包括内、外壁及进水管(22)，内、外壁围成中空圆柱，进水管(22)固接在外壁上并与内外壁之间的空隙相连通；在内壁的圆周面上均布有多个喷水孔(21)。

8.按权利要求1所述的真空退火炉，其特征在于：所述真空获得及测量系统位于工作台(3)的控制柜上，包括机械泵(6)、电磁隔断阀(7)及涡轮分子泵(8)，机械泵(6)通过电磁隔断阀(7)与涡轮分子泵(8)相连接，涡轮分子泵(8)的另一端连接于进样室(4)；在进样室(4)上还设有复合真空计(5)。